硅片切割过程中，别忘了超纯水和CO2起泡器的影响力

本篇文章讨论超纯水和CO2起泡器对硬刀的影响。我们生产过程中为了防止硅IC加工时产生静电，通常使用CO2起泡器去除静电。 根据CO2起泡器的电阻率，切割水有时会对刀刃（接合部）产生腐蚀，导致无法进行稳定的加工。

下面将通过三组实验，对比超纯水和CO2起泡器对刀片的影响。

三组实验

实验条件的设定

实验条件

实验观察对象

不同条件下的实验结果

实验前刀片的情况

实验一 72小时空转使用超纯水

实验结果：

铝（轮毂）被腐蚀，溶出的铝粘附在刀刃上。刀刃的机器侧被轻微腐蚀。刀片的操作侧没有被腐蚀，因为它被氧化铝覆盖。

PS：超纯水（16MΩ.cm 或更高，杂质为 1ppb 级）被称为饥饿水，接触材料会发生 ppb 级的洗脱。

实验二 72小时空转 使用超纯水+CO2起泡器

实验结果：

铝（轮毂）被腐蚀，刀刃（机器侧+操作侧）都被腐蚀。

PS: PH值4-8之间铝（轮毂）不会被腐蚀，但是镍基体在PH值低于6（含）就会被腐蚀。

实验三 72小时持续切割 使用超纯水+CO2起泡器

实验结果：

铝（轮毂）和刀刃（机器侧+操作侧）都没有被腐蚀。

原因：

加工硅时产生的污染物（切削粉尘）粘附在刀片上，刀片被 SiO2薄膜覆盖。

实验结论

如果长时间不进行加工，请停止切割水。 尤其是当使用辅助起泡器时，即使pH值在6左右，刀片在空转过程中也可能被腐蚀。因此，长时间等待过程中，应关闭切割水。

补充说明：

空转状态指的是在实际开始加工之前，同时开启主轴和切割水大约 30 分钟的待机状态。 这样做是为了能够以稳定的精度操作机器（暖机）。

更换刀片后，请务必在安装前将主轴空转 10 分钟。 如果空转（暖机时间）不足，安装位置可能会有偏差。

西斯特科技

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