高分子电容式湿敏元件的结构如图所示，这种湿敏元件基本上是一个电容器，在高分子薄膜上的电极是一层很薄的金属微孔蒸发膜发膜，水分子可通过两端的电极被高分子薄膜吸附或释放，这样使异致高分子薄膜介电常数发生相应的变化。因为介电系数随空气相对湿度变化而变化，所以只要测定电容值C的大小便可测得相对湿度。
C=εS/d
式中:
ε--高分子薄膜的介电常数;
d---高分子薄膜的厚度;
S---电极的面积
目前大多数采用醋酸丁酸纤维素作为高分子薄膜材料，这种材料制成的薄膜吸附水分子后,不会使水分子之间相互作用，尤其在采用多孔金电极时，可使元件具有响应速度快，无湿滞等特点。
高分子电容式湿敏元件的电容值与相对湿度的关系如图所示。
上表列出了RSM-1型和RHS 型湿敏电容器的主要特性参数。它们具有线性度好、精度高、体积小、响应快、使用方便以及性能稳定等特点。它们适用于气象、航天航空、国防工程、电子、纺织、烟草、粮食、医疗卫生以及生物工程等各个领域的湿度测量和控制。