白光干涉仪表面轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
产品特点
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-10mm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
软件功能
(1) 提供多种数据处理方式。
提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置；
提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正；
提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。
(2) 提供多种分析工具。
提供距离、台阶高度等要素测量；
提供点、线、圆弧、角度等特征测量，以及直线度、真圆度等形位公差评定，为用户展现强大的轮廓分析功能；
提供基于表面的纹理分析，方便地观察纹理方向与纹理均质性；
提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能；
提供频谱分析功能，可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等；
提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能；
提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D，3D参数，参见参数表：
(3) 可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。
(4) 多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。
(5) 内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户的分析项目组合起来，避免重复操作。
(6) 便捷的同步分析功能，可实时提取表面二维剖面，同步计算更新参数指标，实现对样品的操作所见即所得。
(7) SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。
SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、弯曲变形情况、磨损情况、腐蚀情况、粗糙度、孔隙间隙、表面缺陷、波纹度、台阶高度、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。能够做到在线监测、数据分析、超差报警、数据存储等，协助监测人员及时发现缺陷产生的原因。能有效监控相关设备的性能，实现表面质量判定自动化，减少了因表面缺陷而引起的损失。
