--- 产品参数 ---
- 注释 更多详细产品信息,请联系我们获取
--- 产品详情 ---
在半导体领域中,SuperViewW3大尺寸三维微观形貌测量仪同步支持6、8、12英寸三种规格的晶圆片测量,并可一键实现三种规格的真空吸盘的自动切换以适配不同尺寸晶圆。可以自动测量研磨工艺后减薄片的粗糙度,只需一键,即可测量数十个小区域的粗糙度求取均值;还可以测量晶圆制造工艺中镀膜台阶的高度,覆盖从1nm~1mm的测量范围,实现高精度测量。
SuperViewW3大尺寸三维微观形貌测量仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
产品功能
1) 样件测量能力:满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量;
2) 自动测量功能:自动单区域测量功能、自动多区域测量功能、自动拼接测量功能;
3) 编程测量功能:可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动测量功能,实现一键测量;
4) 数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能;
5) 数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
6) 批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;
半导体领域专项产品功能
1)同步支持6、8、12英寸三种规格的晶圆片测量,并可一键实现三种规格的真空吸盘的自动切换以适配不同尺寸晶圆;
2)具备研磨工艺后减薄片的粗糙度自动测量功能,能够一键测量数十个小区域的粗糙度求取均值;
3)具备晶圆制造工艺中镀膜台阶高度的测量,覆盖从1nm~1mm的测量范围,实现高精度测量;
SuperViewW3大尺寸三维微观形貌测量仪可以对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航天、高校科研院所等领域中。
为你推荐
-
国产高精度三坐标测量检测设备2024-05-16 14:46
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
大尺寸多特征影像测量仪2024-05-16 14:44
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
晶圆表面形貌参数测量仪2024-05-16 14:40
产品型号:WD4000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
表面粗糙度轮廓形状测量仪2024-05-16 14:38
产品型号:SJ5800系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
白光干涉技术3D测量轮廓仪2024-05-16 14:36
产品型号:SperViewW1 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪2024-05-15 10:19
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
PCB电路板图像尺寸一键快速测量仪2024-05-15 10:17
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
广东光学3D轮廓仪表面粗糙度检测仪器2024-05-10 10:09
产品型号:SuperViewW1 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
半导体无图晶圆形貌检测设备 厚度翘曲度粗糙度测量仪2024-05-10 10:07
产品型号:WD4000 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图仪器Mars高测量精度三坐标测量机2024-05-09 10:47
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
中图仪器高精度国产三坐标测量机,精密制造的质量守护者2024-05-11 11:39
-
显微成像与精密测量:共聚焦、光学显微镜与测量显微镜的区分2024-05-11 11:38
-
台阶仪膜厚测量:工业与科研中的纳米级精度检测2024-05-11 11:36
-
轮廓测长|高精度光栅测长机检定量规量具2024-05-11 11:34
-
迎“世界计量日”,共赏计量行业盛会2024-05-11 08:08
-
闪测仪测量常见问题及解决办法2024-05-07 10:18
-
GTS激光跟踪仪在石油化工领域高效应用案例2024-05-01 08:07
-
一期一会,中图仪器参加德国斯图加特Control展,共探质控创新技术2024-04-26 17:44
-
SJ6000激光干涉仪应用拓展:透镜曲率半径测量2024-04-26 08:08
-
三坐标测量仪与影像测量仪相比有什么区别2024-04-25 09:19
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20