表面粗糙度跟形状误差、波纹度等参数一样，是表面微观几何特征，它们共同构成了物体的表面原始形貌特征。在纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中，可以说只有白光干涉仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。
中图仪器推出的SuperView W1白光干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
产品功能
1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；
2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；
3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；
4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；
5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；
6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具备word、excel等数据报表导出功能。
目前，SuperView W1白光干涉仪主要用来测量3C玻璃、硅晶片、蓝宝石衬底等表面粗糙度（微纳米、纳米级别）、MEMS微机电系统台阶高、金属件表面磨损和摩擦情况以及超光滑加工表面粗糙度、平整度、划痕等。
SuperView W1白光干涉仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪，还可对LED衬底、红外观察窗口、超精密工件、微机电系统等进行超精密检测，在民用领域也有着广泛应用。
未来，中图仪器仍将继续专注于精密计量仪器和精密检测设备的技术发展，自强不息、知难而上，用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度，图中国仪器技术之强大，铸中国产业提升之利器！
