制造企业逐步走在智能制造的路上，对产品质量的要求也逐步在提高。从IQC到FQC，OQC，产品的外观尺寸缺陷等品质检测也越发重要。这就不得不说白光干涉测量技术，将其应用到3D表面轮廓仪中，可进行纳米级的测量。
中图仪器SuperViewW1白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米的工件粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
SuperViewW1白光干涉仪特点
1、复合型扫描算法
结合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范围的双重优点的复合型扫描重建算法，能够适配从超
光滑到粗糙、光滑弧面等所有类型样品；
2、双重防撞保护
1）软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；
2）Z向防撞传感器，当镜头碰到样件表面，镜头即回缩，进入紧急停止状态，不再下移；
3、地面振动&声波振动隔振防护
气浮隔振设计&吸音材质隔离设计，确保仪器在嘈杂的车间中能够有效滤除地面和声波的振动干扰，正常工作；
4、环境噪声评价
提供环境噪声评价模块，能够定量检测出当前环境噪声对仪器的干扰，对仪器的调试和使用提供数据依据；
5、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
中图仪器研发生产的光学3d轮廓仪检测仪对产品进行高品质监控时不需要取下产品或停止生产，而且采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。
产品参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
注释：更多详细产品信息，请联系我们获取
