激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。
中图SJ6000机床用的激光干涉检测仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
性能特点
1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
④SJ6000机床用的激光干涉检测仪配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。
SJ6000机床用的激光干涉检测仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
技术规格
| 稳频精度 | 0.05ppm |
| 动态采集频率 | 50 kHz |
| 预热时间 | ≤ 6分钟 |
| 工作温度范围 | (0~40)℃ |
| 存储温度范围 | (-20~70)℃ |
| 环境湿度 | (0~95)%RH |
| 线性测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
| 线性测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度轴向量程 | (0~15)m |
| 角度测量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度轴向量程 | (0~15)m |
| 平面度测量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m) |
| 直线度轴向量程 | 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m |
| 直线度测量精度 | 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度轴向量程 | 短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m |
| 垂直度测量精度 | 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事项：
平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组
平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可
短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组
长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组
直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量
内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
