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共焦显微成像技术具有很强的纵向深度的分辨能力,而且由于探测器前有针孔掩模,大大减小了不想要的闪烁和散射光所形成的噪声。在相同物镜放大的条件下,共焦显微镜比传统光学显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。
VT6000系列激光共聚焦扫描显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,仪器测量精度高,能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
产品特点
自设计之初,VT6000系列激光共聚焦扫描显微镜便定下了“简单好用"四字方针的目标。
1)结构简单:仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成,控制单元集成在设备主机之内,亦可采用笔记本电脑驱动,真正实现了“拎着走"的便携式设计;
2)真彩图像:配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像,对细节的展现纤毫毕现;
3)操作便捷:采用全电动化设计,并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换,图像视窗和分析视窗同界面的设计风格,实现了所见即所得的快速检测效果;
4)安全无忧:采用自研的电动鼻轮塔台,并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化,确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。
产品功能
1) 激光共聚焦扫描显微镜设备提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能;
2)一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。
3)提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。
4) 提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
5) 提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。
技术指标
型号:VT6100
行程范围:100*100*100mm
视场范围:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量重复性(1σ):12nm
高度测量精度:± (0.2+L/100) μm
高度测量分辨率:0.5nm
宽度测量重复性(1σ):40nm
宽度测量精度:± 2%
宽度测量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
仪器重量:50kg
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