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SuperViewW系列轮廓测量仪也叫白光干涉仪,是目前三维形貌测量领域高精度的3D三维测量仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。3D光学轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了3D光学轮廓测量仪,其它仪器达不到检测的精度要求。
部分参数
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
Z向分辨率:0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性:0.1nm
表面形貌重复性:0.1nm
台阶测量:重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
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优点
一是非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件;
二是测量速度快,不必像探头逐点进行测量;
三是不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置;
四是对高深宽比的沟槽结构,可以快速而精确的得到理想的测量结果。
SuperViewW系列轮廓测量仪的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。
SuperViewW系列轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
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