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中图仪器

深圳市中图仪器股份有限公司是一家高新技术企业，致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。

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3D三维测量仪器，3D光学轮廓仪

光学仪器 轮廓测量仪 三维轮廓
型号： SuperViewW系列

--- 产品参数 ---

  • 注释 更多详细产品信息，请联系我们获取

--- 产品详情 ---

SuperViewW系列轮廓测量仪也叫白光干涉仪，是目前三维形貌测量领域高精度的3D三维测量仪器之一。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。3D光学轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域，除了3D光学轮廓测量仪，其它仪器达不到检测的精度要求。

 

部分参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

Z向分辨率：0.1nm

横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重复性：0.1nm

表面形貌重复性：0.1nm

台阶测量:重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取


 

 

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优点

一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；

二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量；

三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；

四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而精确的得到理想的测量结果。

 

SuperViewW系列轮廓测量仪的X/Y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围，可覆盖8英寸及以下晶圆，定制版真空吸附盘，稳定固定Wafer；气浮隔振+壳体分离式设计，隔离地面震动与噪声干扰。

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SuperViewW系列轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。


 

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