SuperViewW1非接触式轮廓仪是一款可以进行微纳米级别精度测量的三维形貌一键式测量仪，主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。
它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
部分技术参数
Z向分辨率：0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性：0.1nm
表面形貌重复性：0.1nm
台阶测量:重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%
产品功能
1）系统光源及寿命：双LED光源（白光和绿光），10万小时超长寿命，终身无需更换；
2）测量模式：垂直扫描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），结合VSI和PSI的自适应通用测量模式（USI）
3）多区域自动分析：自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能。提供软件截图；
4）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；
5）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；
6）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；
7）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；
8）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；
9）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
10）具备word、excel等数据报表导出功能。
SuperViewW1非接触式轮廓仪采用了CCD取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。还支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um。
SuperViewW1非接触式轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
