CEM3000系列国产扫描电子显微镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析。标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求，实现微观的形貌和元素分析等。
不同于立式电镜，CEM3000系列国产扫描电子显微镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。此外，该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中，该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术，展现出色的性能。
核心优势
1、紧凑灵活，突破空间限制
（1）台式设计，体积小巧，轻松摆放在桌面或狭小空间（如手套箱、移动实验室），节省实验室空间。
（2）支持快速移机，一台设备满足多场景需求，助力科研效率提升。
2、高性能，纳米级分辨率
（1）空间分辨率优于4nm（SE），支持高达200,000倍放大，精准捕捉纳米材料、微流控芯片等样品的微观形貌。
（2）高衬度成像系统，快速扫描也能清晰呈现微弱信号，满足材料科学、生命科学等领域的需求。
3、抗振防磁，稳定无惧挑战
（1）特殊隔振设计（CEM3000B搭载复合抗振系统），消除环境振动与电磁干扰，保障高倍成像质量。
（2）适用于工业车间、车载实验室等复杂环境，稳定可靠。
4、高效便捷，一键智能操作
（1）快速抽放气技术：低真空模式仅需40秒（CEM3000B），高真空模式最快1.5分钟，大幅缩短等待时间。
（2）自动对焦、消像散、图像增强功能，一键生成高质量图片，降低操作门槛。
5、灵活拓展，满足多样需求
（1）可选配低真空系统（5~100Pa），兼容导电/非导电样品观测。
（2）CEM3000系列国产扫描电子显微镜支持二次电子、背散射电子探头及能谱仪，搭配颗粒统计、孔隙率测量等定制功能，满足多领域分析需求。
应用场景
材料科学：纳米材料（如60nm银线）、高熵合金粉末、氧化锌等微观结构分析。
新能源：太阳能电池板缺陷检测、涂层性能评估。
生物医疗：微流控芯片表面形貌观测、药物载体研究。
工业质检：锡球颗粒焊接质量、精密器件表面粗糙度检测。
机型选择
CEM3000A（大样品仓型）：70mm×70mm样品仓，兼容大尺寸或多样品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：专为振动环境设计，抽气更快（低真空仅40秒），成像更稳定。
部分技术指标
型号 | CEM3000A（大样品仓型） | |
电子枪 | 灯丝 | 钨灯丝 |
分辨率 | 优于4nm(SE)，优于8nm(BSE) @20kV | |
加速电压 | 1 ~ 20kV | |
放大倍数 | 电子图：40 ~ 200,000×（可选配大图拼接） | |
探测器 | 二次电子 | 标配 |
背散射电子 | 标配（四象限高分辨探头） | |
能谱仪 | 选配 | |
自动化软件 | 标配：自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 | |
选配：颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 | ||
真空系统 | 真空度 | 高真空：优于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（选配） |
抽真空时间 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
样品台 | 自动轴 | X，Y，T |
手动轴 | R，Z | |
行程范围 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手动旋转、电子束旋转） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
样品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
仓内相机 | 导航相机 | 标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 | 标配高分辨红外相机 | |
操作系统 图片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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