--- 产品参数 ---
- 影像系统 1024×1024
- 光学ZOOM 0.5×,(0.75×,1×可选)
- 干涉物镜 10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
- XY平台 尺寸320×200mm,行程140×110mm
- Z轴行程 100mm,电动
- Z向扫描范围 10mm
- Z向分辨率 0.nm
- 可测样品反射率 0.05%-100%
- 粗糙度RMS重复性 0.005nm
- 台阶高测量 准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
--- 产品详情 ---
如果采用接触式轮廓仪来测量表面质量等级非常高的玻璃和各种光学镜片等超精密加工产物,会划伤器件表面,而一般的非接触式光学测量方法没有办法克服“高透明度特性”。为满足客户需求,深圳市中图仪器股份有限公司以白光干涉技术为基础,研发生产出达到纳米级检测精度的SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪,主要用于样品表面微观形貌的检测,能快速获得被测工件表面三维形貌图像和数据,为玻璃和光学镜片的表面质量提供了标准解决方案。
产品参数


光学3D表面轮廓仪的应用
- 玻璃屏检测
生活中智能手表、平板电脑、智能手机等产品中常见的玻璃屏,需要检测其表面粗糙度和轮廓。以手机玻璃屏为例:

2. 玻璃表面台阶检测
透明玻璃表面镀有一层金属膜,膜层厚度的精度都是在纳米级别的,而且因为其非透明特性,薄膜测厚仪测不了膜层厚度。不管是非接触式光学仪器还是接触式台阶仪,都会存在测量误差,而SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,测量精度达到亚纳米级,能对膜层厚度进行一键测量。

3. 光学透镜检测
球面透镜在可见光领域是一种基础光学器件,其光的传播效果受曲率半径和表面粗糙度的影响,中图仪器SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪可以对这两项参数同时进行检测。

SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪采用CCD取代了显微镜中的目镜,因而可直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。

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