中图仪器研发生产的SuperView W1 3d光学轮廓仪是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
3d光学轮廓仪工作原理
光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
3D形貌地图配合色谱图，非常直观，但横向测试范围，纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中，3D AOI（自动光学检测）是对传统精密加工上的升级，弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。3d光学轮廓仪工作原理是基于白光干涉原理而研发生产的，能以非接触的方式，无损检测精密机械加工表面，检测结果以3D数据地图的方式显示，能直观地展示了表面纹理特征。
如表面粗糙度的测量。表面粗糙度跟形状误差、波纹度等参数一样，是表面微观几何特征，它们共同构成了物体的表面原始形貌特征。表面二维形貌特征的分析与评定通常是对粗糙度参数进行的评定，通常把小于lmm波距的形貌特征归结为表面粗糙度，而波距在1 ~10mm之间的定义为表面波纹度，大于10mm的则属于目测可知的宏观几何形状特征。
SuperView W1 3d光学轮廓仪测量表面粗糙度步骤很简单。
1、将样品放置在载物台镜头下方；
2、检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
3、使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹；
4、完成扫描设置和命名等操作，点击开始测量；
5、进入数据处理模块，点击校平，平面样品采用默认校平，点击右下角应用保存操作；
6、进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准、增删参数类型；
7、如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
8、进入数据处理界面，点击提取剖面图标，选择斜线，沿垂直于纹理方向提取剖面线；
9、进入分析工具界面，点击参数分析图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。
在生产中，微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，为了能更全面、更真实地反映零件表面的特征以及衡量表面的质量，表面三维微观形貌的测量就越来越重要。而在3D测量领域，3d光学轮廓仪是精度最高的测量仪器之一，测量精度可以达到纳米级。
