中图仪器的SuperViewW1白光干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长所以干涉仪是以广播波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。
在测量过程中，SuperViewW1白光干涉仪在垂直光轴方向，*快1秒内，做一次纵向扫描；在扫描过程中，摄像头和计算机系统对干涉条纹变化进行采样和分析，从而以埃级纵向分辨率，构建出视场范围内，包括几百万像素的数据3D形貌地图。基于干涉原理，纵向分辨率与放大倍率无关，在低倍率大视场范围内，也可以实现埃级分辨率，以非接触3D方式检测和表征样品表面，不会有损伤样品表面的风险，其3D检测模式效率也很高。
白光干涉仪技术参数
产品特点
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-10mm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
3D形貌地图配合色谱图，非常直观，但横向测试范围，纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中，3D AOI（自动光学检测）是对传统精密加工上的升级，弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。抛开光学三维图像尺寸测量仪价格实惠不说，基于白光干涉原理而研发生产的SuperView W1白光干涉仪能以非接触的方式，无损检测精密机械加工表面，检测结果以3D数据地图的方式显示，直观地展示了表面纹理特征。
如一款旋转抛物面零件，用于微小位移和角度检测，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，针对其凹面弧形的检测需求，现有的显微测量仪器中，原子力显微镜和共聚焦显微镜，均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除，而以白光干涉为原理的SuperView W1白光干涉仪在能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。
