激光干涉仪可以将线性测量结果生成的误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。
SJ6000激光干涉仪标准装置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。线性镜组可以针对不同方向的运动轴而搭建相应的测量光路。
直线度测量参数
系统主要组件
1、激光主机
准确——激光频率稳定度高，可溯源至国家标准。
主机由DC12V电源适配器供电，输入电压范围在100V-240V之间皆可正常工作。
支持USB通信接口，可与计算机高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配备的SCSI接口，可提供外部触发信号输入和正交信号输出，以及其它扩展应用。
2、EC20环境补偿单元
可靠——对空气温度、湿度、气压和材料温度进行自动环境补偿。
激光干涉仪是以激光波长为载体，测量过程中环境条件（空气温度、湿度、气压）的变化会影响激光波长。
EC20环境补偿单元可实时检测环境条件的变化，同事进行激光波长补偿。
EC20环境补偿单元可连接三个材料温度探头，监测被测对象其材料的温度变化，同事进行材料的热膨胀补偿。
EC20环境补偿单元采用低功耗设计，无需额外的供电电源，其工作电源集成于USB接口。
为了方便现场使用，EC20环境补偿单元配备磁性挂板，温度探头的标准线长5m，亦可定制线长。
3、三脚架及便携箱
