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中图光学3d轮廓测量仪产品信息
中图3d轮廓测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成,是以白光干涉技术为原理,结合具有优异抗噪性能的3D重建算法,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
3d轮廓测量仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
粗糙度分析操作步骤:
1. 将样品放置在夹具上,确保样品状态稳定;
2. 将夹具放置在载物台上;
3. 检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;
4. 使用操纵杆调节三轴位置,将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹;
5. 完成扫描设置和命名等操作;
6. 点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);
7. 进入数据处理界面,点击“去除外形",采用默认参数,点击应用获取样品表面粗糙度轮廓;
8. 进入分析工具模块,点击参数分析,直接获取面粗糙度数据,点击右侧参数标准可更换参数标准,增删参数类型;
9. 如果想获取线粗糙度数据,则需提取剖面线;
10. 进入数据处理界面,点击“提取剖面"图标,选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取;
11. 进入分析工具界面,点击“参数分析"图标,点击右侧参数标准,勾选所需线粗糙度相关参数,即可获取线粗糙度Ra数据。
产品功能
1)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;
2)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;
3)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;
4)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;
5)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;
6)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具备word、excel等数据报表导出功能。
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