激光干涉仪的主要的应用之一就是机床精度检测。激光干涉仪可以通过与不同的光学组件结合，对机床进行动态性能检测，如可以测量机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量。其线性定位测量的精度是0.5ppm，可以满足现在所有类型数控机床精度检测，它可以弃普通车间进行应用，具有更强的环境适应能力，同时可进行动态高速测量，配以相应元件后还可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等。
SJ6000激光干涉仪测量分辨率0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。
系统组件
1、激光主机
精准——激光频率稳定度高，可溯源至国家标准。
SJ6800激光主机由DC12V电源适配器供电，输入电压范围在100V-240V之间皆可正常工作。
支持USB通信接口，可与计算机高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配备的SCSI接口，可提供外部触发信号输入和正交信号输出，以及其它扩展应用。
2、EC20环境补偿单元
可靠——对空气温度、湿度、气压和材料温度进行自动环境补偿。
激光干涉仪是以激光波长为载体，测量过程中环境条件（空气温度、湿度、气压）的变化会影响激光波长。
EC20环境补偿单元可实时检测环境条件的变化，同事进行激光波长补偿。
EC20环境补偿单元可连接三个材料温度探头，监测被测对象其材料的温度变化，同事进行材料的热膨胀补偿。
EC20环境补偿单元采用低功耗设计，无需额外的供电电源，其工作电源集成于USB接口。
为了方便现场使用，EC20环境补偿单元配备磁性挂板，温度探头的标准线长5m，亦可定制线长。
3、三脚架及便携箱
激光干涉仪检测机床精度原理：迈克尔逊干涉原理
1、从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；
2、两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；
3、角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。
产品参数
产品型号： SJ6800
产品名称： 激光干涉仪
稳频方式： 双频激光双纵模热稳频
稳频精度： 0.04ppm
测量距离：≤（0-80）m（无需远距离线性附件）
测量分辨力：1nm
测量至大速度：4m/s
线性测量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
主要特点：绝对测量、恒测力、无阿贝误差
