--- 产品参数 ---
- 台阶高测量 准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
- 粗糙度RMS重复性 0.005nm
--- 产品详情 ---
中图仪器SuperViewW1非接触式表面粗糙度轮廓仪是一款用于精密器件及材料表面的亚纳米级测量的光学检测仪器。可广泛应用于微机电、为纳米材料、光学加工、超精密加工、3C电子、半导体等行业中精密元器件的表面粗糙度、几何轮廓等参数的测量和分析。
SuperViewW1非接触式表面粗糙度轮廓仪采用白光轴向色差原理,利用白光干涉扫描技术为基础研制而成,是一种用于对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维检测的精密仪器,它的特点是可以达到纳米级的检测精度。操作过程只需要操作者装好被测工件,在软件里设好视场参数,把物镜调节到被测工件表面,选择自动聚焦后,仪器就会主动找干涉条纹开始扫描测量。然后自动生成工件表面3D图像,一键输出反映工件表面质量的2D、3D参数,完成工件表面形貌一键测量。
数秒内,可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。“见一叶而知深秋,窥一斑而见全豹” 这句话用来形容中图仪器在超精密加工显微测量场景中发挥的作用恰如其分。
技术参数
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
为你推荐
-
多功能三坐标检测测量仪2024-04-26 11:34
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
SJ5900光学型轮廓仪精准测量衍射非球面2024-04-24 11:05
产品型号:SJ5900系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
太阳能涂层薄膜测量台阶仪2024-04-23 09:46
产品型号:CP200 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产光栅式测长机品牌2024-04-23 09:44
产品型号:SJ5100-Prec300 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图高重复性三坐标测量机2024-04-19 08:59
产品型号:Mars575 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
晶圆厚度晶圆翘曲度测量仪2024-04-18 09:33
产品型号:WD4000 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
机床测头在线测量系统2024-04-17 08:54
产品型号:PO40 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
Novator中图闪测影像仪2024-04-15 09:16
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
高分辨率工业用共聚焦显微镜2024-04-15 09:13
产品型号:VT6000 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
SJ5800表面粗糙度检测仪器2024-04-09 10:10
产品型号:SJ5800系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
一期一会,中图仪器参加德国斯图加特Control展,共探质控创新技术2024-04-26 17:44
-
SJ6000激光干涉仪应用拓展:透镜曲率半径测量2024-04-26 08:08
-
三坐标测量仪与影像测量仪相比有什么区别2024-04-25 09:19
-
用于材料领域的共聚焦显微镜可以看到什么?2024-04-25 09:17
-
激光共聚焦和白光干涉仪哪个好?2024-04-24 11:45
-
影像仪在工业测量中的优势2024-04-22 11:39
-
为何3C电子精密件测量首选闪测仪?2024-04-22 11:37
-
SJ5900光学型轮廓仪:衍射非球面精准测量新利器2024-04-20 08:08
-
精准测量驱动制造革命:激光干涉测量技术在机床领域的应用2024-04-12 14:45
-
三坐标测量机质量性价比评估:国产全自主研发新选择解析2024-04-12 14:44
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20