中图仪器文章

• 工业测量的两大神器：轮廓仪和三坐标测量机2023-11-02 11:23

  

  轮廓仪和三坐标测量机虽然有所不同，但在工业测量领域中，它们同样都具有自己鲜明的特点，有着各自的适用范围和优缺点。

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• 晶圆表面形貌及台阶高度测量方法2023-11-02 11:21

  

  晶圆在加工过程中的形貌及关键尺寸对器件的性能有着重要的影响，而形貌和关键尺寸测量如表面粗糙度、台阶高度、应力及线宽测量等就成为加工前后的步骤。以下总结了从宏观到微观的不同表面测量方法：单种测量手段往往都有着自身的局限性，实际是往往是多种测量方法配合使用。此外，除表面形貌和台阶测量外，在晶圆制程中需要进行其他测量如缺陷量测、电性量测和线宽量测。通过多种测量方式

  3D 晶圆 测量 表面轮廓仪 2118浏览量

• 台阶仪能检测哪些东西？主要应用在哪些领域？2023-11-02 11:15

  

  台阶仪是一种常见的工业测量仪器，它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

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• 筛网孔径测量方法，您了解多少？2023-11-01 08:08

  

  筛网是一种表面有均匀而稳定的透气孔、具有筛选和过滤作用的工业用品，常见的有金属丝编织网和冲孔板筛网，广泛用于新能源汽车、太阳能光伏、冶金、煤炭、橡胶、石油、化工、制药、建材、粮油等行业。筛网有着严格的网孔尺寸规范，需要符合标准认可，筛网的线径、网孔（尺寸规范）是否符合要求，需要专业的尺寸测量工具来检测。1.目视测量法目视测量法是筛网孔径大小测量中最常用的方法

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• 白光干涉仪如何测曲面粗糙度特征2023-10-31 10:57

  

  针对叶片类曲面零部件，型号为W3的白光干涉仪能够在空间范围内实现曲面全自动测量功能，解决其形状不规则装夹不便、测量点分布不在同一个面、单次测量效率低的问题。

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• 激光干涉仪检测机床的方法（以线性检测为例）2023-10-30 09:06

  

  本产品的加工定制是否，类型是激光干涉仪，品牌是中图，型号是sj6000，品种是激光干涉仪，测量范围是80m，用途是检测和校准机床三坐标机等。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

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• WD4000无图晶圆检测机：助力半导体行业高效生产的利器2023-10-25 13:31

  

  WD4000无图晶圆检测机集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，非接触厚度、三维维纳形貌一体测量，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量，助力半导体行业高效生产！

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• 台阶仪和轮廓仪区别是什么？2023-10-25 13:29

  

  台阶仪和轮廓仪在工业制造领域的区别和应用领域解析测量和检测是工业制造领域的重要环节，而台阶仪和轮廓仪则是各有其特点和应用范围的两种仪器。台阶仪和轮廓仪区别在哪？一、台阶仪1、产品概述台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器。它是利用光学干涉原理，对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。2、产品特点台阶仪在工业生产中，常用来保证产

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• 一键式影像测量仪能测出什么？2023-10-24 16:28

  

  尺寸较小的产品及零部件需要批量测量时，一键式影像测量仪则是一个很好的选择。一键式影像测量仪为企业打开了高精度、高效率测量的大门，并很大限度地为客户简化了测量过程。

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• 一种晶圆表面形貌测量方法-WD40002023-10-24 09:42

  

  WD4000无图晶圆几何量测系统自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表

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