中图仪器

动态

• 发布了文章 2025-03-04 10:01

  扫描电子显微镜（SEM）有哪些分类？

  

  扫描电子显微镜（SEM）有多种分类方式，具体如下：1、按电子枪种类分类（1）钨丝枪扫描电镜：使用热钨极电子枪，阴极为能加热的钨丝。优点是结构简单、成本较低、适用性强、维护费用低；缺点是亮度有限，束斑直径较大，分辨率相对较低，一般为6nm左右。（2）六硼化镧扫描电镜：用六硼化镧阴极替代钨丝阴极。其亮度比热钨丝阴极电子枪高一个数量级，可使分辨率提高到4-5nm，

  SEM 扫描电镜 电子显微镜

  2.3k浏览量

• 发布了文章 2025-03-04 09:57

  扫描电子显微镜（SEM）类型和原理

  

  扫描电子显微镜（SEM）原理电子枪产生的电子束经聚光镜和物镜聚焦后，形成极细的电子束在样品表面进行逐点扫描。电子束与样品表面相互作用，激发出二次电子、背散射电子等信号。其中二次电子对样品表面的形貌非常敏感，这些二次电子被探测器收集，转换为电信号，再经过处理后在显像管或显示屏上形成反映样品表面形貌的三维图像。应用场景：主要用于观察样品的表面形貌，如材料的断口、

  SEM 扫描电镜 显微镜 电子显微镜

  3.6k浏览量

• 发布了产品 2025-03-03 15:05

  高精度探针式台阶仪

  

  产品型号：NS系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  239浏览量

• 发布了产品 2025-03-03 14:59

  国产单频激光干涉仪

  

  产品型号：SJ6000系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  202浏览量

• 发布了产品 2025-03-03 14:57

  一键自动化尺寸测量仪

  

  产品型号：VX8000系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  266浏览量

• 发布了产品 2025-03-03 14:54

  激光坐标跟踪定位仪

  

  产品型号：GTS系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  188浏览量

• 发布了产品 2025-03-03 14:50

  高效率高精度三坐标测量机

  

  产品型号：Mars系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  133浏览量

• 发布了文章 2025-02-28 14:23

  精密几何测量技术在电子芯片制造中的重要性

  

  精密几何测量技术在电子芯片制造中具有极其重要的地位，主要体现在以下几个方面：1、确保芯片性能-晶体管性能优化：在芯片中，晶体管的尺寸和结构对其性能至关重要。通过精密几何测量技术，能够精确测量晶体管的栅极长度、宽度、氧化层厚度等几何参数。例如，在7nm制程中，栅极氧化层厚度每减少0.1nm，漏电流可能呈指数级增加。精确测量这些参数可确保晶体管性能稳定，如实现低

  半导体晶圆 测量 电子芯片 粗糙度

  1.2k浏览量

• 发布了产品 2025-02-27 15:58

  中图仪器2.5次元影像仪

  

  产品型号：Novator系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  202浏览量

• 发布了产品 2025-02-27 15:54

  非接触式3D白光干涉仪

  

  产品型号：SuperViewW系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  252浏览量