中图仪器

动态

• 发布了文章 2023-11-02 11:21

  晶圆表面形貌及台阶高度测量方法

  

  晶圆在加工过程中的形貌及关键尺寸对器件的性能有着重要的影响，而形貌和关键尺寸测量如表面粗糙度、台阶高度、应力及线宽测量等就成为加工前后的步骤。以下总结了从宏观到微观的不同表面测量方法：单种测量手段往往都有着自身的局限性，实际是往往是多种测量方法配合使用。此外，除表面形貌和台阶测量外，在晶圆制程中需要进行其他测量如缺陷量测、电性量测和线宽量测。通过多种测量方式

  3D 晶圆 测量 表面轮廓仪

  2.1k浏览量

• 发布了文章 2023-11-02 11:15

  台阶仪能检测哪些东西？主要应用在哪些领域？

  

  台阶仪是一种常见的工业测量仪器，它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

  仪器 检测 测量

  1.9k浏览量

• 发布了产品 2023-11-01 09:43

  深圳激光干涉仪品牌

  

  产品型号：SJ6000系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  257浏览量

• 发布了产品 2023-11-01 09:41

  国产粗糙度轮廓仪

  

  产品型号：SJ5730系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  213浏览量

• 发布了产品 2023-11-01 09:39

  白光干涉三维形貌测量仪

  

  产品型号：SuperViewW1 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  355浏览量

• 发布了产品 2023-11-01 09:34

  影像自动光学测量仪

  

  产品型号：Novator系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  348浏览量

• 发布了产品 2023-11-01 09:30

  三坐标设备

  

  产品型号：Mars系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  320浏览量

• 发布了文章 2023-11-01 08:08

  筛网孔径测量方法，您了解多少？

  

  筛网是一种表面有均匀而稳定的透气孔、具有筛选和过滤作用的工业用品，常见的有金属丝编织网和冲孔板筛网，广泛用于新能源汽车、太阳能光伏、冶金、煤炭、橡胶、石油、化工、制药、建材、粮油等行业。筛网有着严格的网孔尺寸规范，需要符合标准认可，筛网的线径、网孔（尺寸规范）是否符合要求，需要专业的尺寸测量工具来检测。1.目视测量法目视测量法是筛网孔径大小测量中最常用的方法

  仪器 工业 测量

  2.6k浏览量

• 发布了文章 2023-10-31 10:57

  白光干涉仪如何测曲面粗糙度特征

  

  针对叶片类曲面零部件，型号为W3的白光干涉仪能够在空间范围内实现曲面全自动测量功能，解决其形状不规则装夹不便、测量点分布不在同一个面、单次测量效率低的问题。

  干涉仪 测量 白光干涉仪 精密仪器

  3k浏览量

• 发布了产品 2023-10-31 10:15

  国产白光干涉仪 微观形貌丝毫毕现

  

  产品型号：SuperViewW1 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  224浏览量