光学工具测量显微镜扮演着核心角色。这是一种集成了观察、测量与数据处理功能的系统化显微镜系统，主要由位移传感器、精密工作平台、系统显微镜、高清图像采集系统、专业测量软件以及计算机终端组成。其工作原理基于非接触式测量技术，利用相对量测法，通过显微镜对工作件表面形态进行高倍率观察，并借助位移传感器精确捕捉位置信息，从而在计算机上实现高精度测量与数据分析。
一、产品描述
1.产品特性
● Z轴可选配辅助对焦测高功能
● 视场宽阔，可得清晰无闪烁影像
● 高精度测量，同时具有大测量范围和高精度，适用于各种测量
● 选用无限远长距明场金相物镜，满足长工作距离的测量要求
● 照明装置（反射/透射）可选用高亮度LED的照明或卤素照明
● 利用可变孔径光阑进行无衍射观察测量
● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
● 高位目镜观察
2.技术规格
测量范围 | 200*100 | 200*200 | 300*200 | 400*300 |
光学系统 | 无限远光学系统 | |||
成像方式 | 5°～35°倾角可调，正像，无限远铰链三目观察筒，瞳距调节范围：50MM～76MM； | |||
倒像，无限远铰链三目观察筒，瞳距调节范围：50MM～76MM； | ||||
正像，无限远铰链三目观察筒，瞳距调节范围：50MM～76MM； | ||||
目镜 | 高眼点大视野平场目镜10X，视场直径23MM，可视度可调，可带测微尺； | |||
物镜 | 无限远长工作距半复消色差明场金相物镜5X、10X、20X、50X、100X | |||
无限远长工作距半复消色差明暗场金相物镜5X、10X、20X、50X、100X | ||||
无限远长工作距全复消色差明暗场金相物镜10X、20X、50X、100X | ||||
无限远超长工作距高分辨率全复消色差95MM可见光APO金相物镜2X、5X、10X、20X、50X、100X | ||||
放大倍率 | 光学：50X-1000X | 影像：135X-2700X | ||
转换器 | 5孔手动转换器（带DIC插槽） 5孔自动转换器（带DIC插槽） | |||
照明系统 | 明暗场反射照明器，带明、暗场照明器切换装置，带滤色片插槽与偏光装置插槽，5WLED灯源，5WLED透射光源，亮度均可调 | |||
明场反射照明器，带滤色片插槽与偏光装置插槽，5WLED灯源，5WLED透射光源，亮度均可调 | ||||
辅助对焦模块，带明、暗光楔切换装置，带绿光5W LED灯源 | ||||
调焦方式 | 手动粗微调，粗微调同轴，左右手柄 | |||
相机 | 像素1200万，靶面尺寸：1/1.8，4000(H)×3000(V)，最大帧率：20 FPS | |||
测量精度 | （2.5+L/200）μm | |||
产品结构 | 铸铁，大理石 | |||
二、应用领域
TOCK系列工具测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力，和平面几何公差测量功能。具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。
三、应用实例图
