主要特点:
电阻测量可达1018Ω
电流测量范围10aA-20mA
最小电流量程输入端压降<20μV
200TΩ输入阻抗
<3fA偏置电流
测试速率高达425 rdgs/s
噪声0.75fA p-p
内置±1kV电压源
独特的高电阻测量电压反接方法
可选的插件式扫描卡
出众的性能指标
半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅0.75fA p-p(峰-峰)，输入端压降<20μV。对于接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入阻抗是200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力，从而简化漏流测试、击穿电压测试和电阻测试，以及绝缘材料的体电阻率(Ω-cm)及表面电阻率(Ω/square)的测量。
