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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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应用材料公司全球服务产品事业部200毫米半导体及动力辅助设备副总裁原铮博士:从全球来看,2014年到2015年的增长势头非常好,但是亚洲地区的发展更明显...
2018-02-11 标签:MEMS 1.1k 0
据麦姆斯咨询报道,哈佛大学过去开发的机器人Delta手臂通常用在组装生产线,其速度和灵巧度决定了工作空间需要足够大,如今哈佛大学的工程师已经开发出这款通...
Menlo Microsystems宣布其MEMS开关在广泛的物联网(IoT)应用中取得了进展,除了GE的医疗系统,未来还可作为功率致动器和继电器,用于...
首先先来解释什么是MEMS。Microelectromechanical Systems, 这个让老美念起来都绕口的词,中文叫做“微机械机电系统”。 随...
而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域,跟ic有很大的关联,当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处,现在的发展方向应该是把二者集成到一...
MEMS器件动态特性的光学测量就是一种有效的测试手段。先进的光学测量技术对MEMS器件在开发过程中了解其全视野动态响应,完成各种不同的物理特性的多种参数...
2018-07-13 标签:mems 1.7万 0
倾角仪又称倾角传感器,用于测量在重力作用下的物体的倾斜角度。这些倾角及水平测量仪器计量出俯仰角与/或滚转角并通过合适的电气接口输出这些数值。倾角仪非常易...
虽然大部分人对于MEMS(Microelectromechanical systems,微机电系统/微机械/微系统)还是感到很陌生,但是其实MEMS在我...
速腾聚创首款MEMS激光雷达样品在CES上展出和进行实时演示
三台激光雷达组合方案使得激光雷达点云密度更高,感知盲区更少,可适应 Level 3 及以上自动驾驶。针对该方案,速腾聚创称“已经经历过长时间的开放道路测...
博世可能会关注自己的基础和强项,多元化方面则会逐步扩增,从以前的加速度计传感器、陀螺仪、环境传感器,到激光扫描仪,都是先一步一步实现,再去区分高、中、低...
杨云春介绍,MEMS即微机电系统,是利用半导体生产工艺构造的集微传感器、信号处理和控制电路等部件于一体的微米至毫米尺寸的微型器件或系统
意法半导体推出新款高精度MEMS传感器,支持汽车精确定位控制
意法半导体模拟、MEMS和传感器产品部副总裁Andrea Onetti表示:“意法半导体是车载导航、信息服务系统等汽车非安全用市场第一大MEMS传感器厂...
不论是在家中、车上或工作场所,微机电(MEMS)应用已悄悄深入消费者生活。尽管不常受到注意,MEMS技术在过去20年间经历了剧烈的改变。随着物联网(Io...
意法半导体公司大中华区模拟、功率与微电机系统市场部经理吴卫东日前在接受本刊采访时表示:“随着规模效应的实现,3年来MEMS价格已经降了一半左右,MEMS...
2018-02-08 标签:MEMS 801 0
有人说,下一波推动电子产业快速增长的机会是物联网,而物联网的市场发展将在很大程度上依赖于包括MEMS在内的传感器技术。
我国MEMS晶圆级测试技术研究始于20世纪90年代初,经过20年的发展,初步形成了几个研究力量比较集中的地区,如京津、华东、东北、西南、西北地区等。
MEMS Consulting和EDA技术领导厂商Mentor宣布建立战略合作
2018年4月6日,中国首家MEMS咨询服务公司麦姆斯咨询(MEMS Consulting)和全球著名的EDA技术领导厂商Mentor宣布建立战略合作伙...
如今,定位技术的应用非常广泛,通过GPS实现的室外定位已经不能满足人们的需求,室内定位也成为人们工作与日常生活必不可少的工具。然而室内定位的精准性与稳定...
作为LG旗下的电子产品零部件制造商,LGInnotek生产的3D传感器模组能使移动设备获得更好的捕获3D数据的性能。哪怕是在黑暗的环境下也能对用户进行清...
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