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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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IMT和北京大学微纳电子学研究院持续开展战略合作,三位优秀学生获2017年度MEMS专项奖学金
美国加利福尼亚州圣巴巴拉市及中国北京,2018年4月9日 — 美国最大的开放式MEMS 技术和制造服务提供商IMT公司(Innovative Micro...
Preciseley携MEMS亮相OFC 2018将在LiDAR MEMS 5G方面发力
公司专注于光通讯MEMS芯片,同时在激光雷达(LiDAR),MEMS传感器等领域有很强的技术储备,拥有15项美国、欧洲和日本专利。
单轴硅微MEMS角速率陀螺PA-ARG系列 1. 单轴硅微MEMS角速率陀螺PA-ARG 简介 : PA-ARG系列角速率传感器(陀螺),由西安精准测控...
2018-04-03 标签:MEMS 4.1k 0
原位芯片凭将于2018年内发布国内首个MEMS液体流量传感器,并完成MEMS芯片式胰岛素泵和PoCT即时血检芯片等多个极具前景的新型生物芯片研发和中试。
半导体传感器18项国际标准获重大进展 MEMS标准化发展飞速
目前,在MEMS领域,我国牵头制定的IEC 62047-25:2016已经发布,牵头制定的三项MEMS国际标准经过本次会议讨论将进入到CD阶段,未来我国...
2018-04-01 标签:mems 2.1k 0
以可穿戴市场为例,目前正在开发的传感器包括气体传感器和生物传感器,这些器件将会让穿戴产品变得更实用,性能更强大。在不久的将来,重大创新成果和技术进步将会...
本发明提供了一种加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法,以解决传统复合传感器芯片结构尺寸大、成本高、制作工艺复杂等问题。实现了单片复合传感器...
MSIG国际物联网论坛:新兴应用带来MEMS第三波产业发展东风
由智能手机带动的MEMS产业第二波发展潮已经进入尾声。 3月16日举行的MSIG国际物联网论坛2018上,MEMS传感器、AI、系统及应用等IoT产业专...
日前,东南大学射频与光电集成电路研究所(射光所)王志功教授团队的王科平副研究员在集成电路与微机电系统(MEMS)协同设计方面取得重要进展。 成果以Des...
2018-03-18 标签:MEMS 6k 0
不止手机,可穿戴、AR/VR、物联网正成为电子元器件微型机电系统(MEMS)市场的关键驱动力
在2018年慕尼黑上海电子展上,作为全球创新型MEMS传感器及致动器解决方案领先供应商的Bosch Sensortec展示了三款核心产品,包括适用于可...
苏州钽氪电子近日宣布推出了一款MEMS氢气传感器,这款氢气传感器支持催化燃烧和热导两种工作模式,可实现全量程的氢气浓度检测,其功耗只有传统催化燃烧氢气传...
耐威科技是长期从事惯性导航产品、卫星导航产品的研发、生产与销售,耐威科技建设投产了MEMS代工线项目,一方面与主营业务协同性很好,能深化导航产品布局,可...
MEMS代工主要有两种类型:IDM厂商提供的MEMS代工,独立的代工厂提供的MEMS代工,其中独立的代工厂包括集成电路代工厂和纯MEMS代工厂。近几年F...
MEMS 的全称是微型电子机械系统,利用传统的半导体工艺和材料,集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电...
公司实为MEMS 晶圆纯代工厂前列,产能及利用率双双提升,充分受益行业景气。Yole 统计,2017 年公司名列MEMS 晶圆代工厂第三名。当前Sile...
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