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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

一款可靠且高效的固态LiDAR——大陆集团的SRL1

据麦姆斯咨询介绍，激光雷达SRL1无需任何机械运动部件即可实现正面碰撞检测等应用。SRL1提供基于红外激光技术的紧急制动辅助功能，且已经在微型车上使用。

2017-10-16 标签：mems 大陆集团 1.5万 0

探究SiP封装技术的奥妙

在拯救摩尔定律的道路上，人们挖尽心思。从设计角度出发，SoC将系统所需的组件高度集成到一块芯片上。从封装立场看，SiP也踩着七彩祥云回到了人们视野面前。

2018-10-21 标签：半导体 mems sip封装 1.5万 0

基于ADI的MEMS加速度计关键参数和特性，选出最适合你的MEMS加速度计

最新MEMS电容式加速度计应用于传统上由压电加速度计和其他传感器主导的应用领域。新一代MEMS加速度计可为CBM、结构健康监控(SHM)、资产健康监控(...

2017-12-03 标签：adi mems 加速度计 1.5万 0

彻底颠覆机电继电器，MEMS开关告诉你怎样实现这一切？

过去30年来，MEMS开关一直被认为是性能有限的机电继电器的出色替代器件，因为它易于使用，尺寸很小，能够以极小的损耗可靠地传送0 Hz/dc至数百GHz...

2017-09-01 标签：mems 世健系统 MEMS开关 1.5万 0

驻极体电容式麦克风的参数规格及设计

ECM是指驻极体电容式麦克风，与MEMS硅麦不同，其内部结构如图1所示。

2022-09-01 标签：mems 麦克风 ECM 1.5万 0

单片集成MEMS-IC圆片级真空封装方应用设计

惯性MEMS三维集成TSV互连技术通过提供垂直贯穿惯性MEMS芯片或MEMS专用集成电路IC芯片的TSV互连为两者层叠式立体化集成提供了便利。

2018-04-02 标签：集成电路 MEMS 1.4万 1

什么是MEMS？MEMS深度文章从原理制造到应用全讲透

MEMS传感器在各类电子产品上快速普及，我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含，然而大部分人对MEMS技术还是比较陌生的。 MEMS技术...

2023-08-21 标签：传感器芯片 mems 1.4万 0

浅谈MEMS陀螺仪技术 MEMS是否取代光纤陀螺仪技术

MEMS陀螺仪也称电子式陀螺仪，就是一块芯片。 Iphone 4上的陀螺仪就是这种，主要作用是在GPS没有信号时，通过陀螺仪的作用仍然能够继续精确导航。

2018-07-30 标签：mems 光纤陀螺仪 MEMS陀螺仪 1.4万 0

从三大应用角度深度剖析MEMS加速度计的关键指标

为应用选择最合适的加速度计可能并不容易，因为来自不同制造商的数据手册可能大相径庭，让人难以确定最为重要的技术指标是什么。

2018-01-08 标签：mems 物联网无线传感器 1.4万 0

微机电系统陀螺仪工作原理

MEMS陀螺仪采用的是依赖于相互正交的震动和转动引起的交变科里奥利力。

2019-08-09 标签：MEMS 陀螺仪 1.4万 0

MEMS加速度计和MEMS陀螺仪区别常见MEMS加速度传感器介绍

最大的区别就是：工作原理和应用的区别（具体概念看下百科），前者是利用加速度，后者是利用惯性；前者是用在测斜调平，后者是知道通过知道角速率，可以知道物体的...

2018-07-30 标签：mems MEMS加速度计 MEMS陀螺仪 1.4万 0

评估MEMS陀螺仪信号中常见噪声源的简单流程

当MEMS惯性测量单元（IMU）用作运动控制系统中的反馈传感器时，你，必须了解陀螺仪的噪声情况，因为，它会在所监视的平台上造成不必要的物理运...

2017-10-23 标签：mems 陀螺仪 1.4万 0

基于MEMS传感器的行人航位推算(PDR)解决方案

前言定位是感知应用的一个重要属性。在室内环境中，如果位置信息可用并非常可靠，有更多的应用场景可以实现的。行人航位推算(PDR) 就是这样一种技术，在室内...

2018-03-16 标签：传感器 mems 陀螺仪 1.4万 1

三轴加速度传感器应用详解

加速度传感器有两种：一种是角加速度传感器，是由陀螺仪改进过来的。另一种就是线加速度传感器。它也可以按测量轴分为单轴、双轴和三轴加速度传感器。

2016-11-29 标签：传感器 MEMS 加速度传感器 1.4万 0

怎么实现基于MEMS姿态传感器温度补偿？这篇文章告诉你

基于MEMS姿态传感器主要用于载体姿态的调整和倾角的检测，但是由于工作环境温度的改变，就会导致测量精度的变化，在一些高精度检测的要求下，则失去其检测的效...

2018-01-11 标签：温度传感器 mems 三轴陀螺仪 1.4万 0

MEMS传感器种类及国内外生产厂商

在物联网市场的带动下，传感器产品国产化需求不断增大，MEMS传感器产品正在被越来越广泛的应用。本文将介绍MEMS的传感器种类以及国内外MEMS运动传感器...

2016-11-01 标签：mems 运动传感器 mems麦克风 1.4万 0

MEMS系统设计基本理论及设计关键技术

加速度计主要用于测量惯性的大小，进而分析传感器加速度的大小与运行的安全性。惯性大小与物体的质量、加速度有着直接的联系，成正比关系，质量相等时，加速度越大...

2018-05-21 标签：MEMS 汽车传感器 1.4万 0

超级全面！一文看懂***：MEMS传感器及芯片制造的最核心设备

文章大纲光刻是芯片制造最核心环节，大陆自给率亟待提升 ·光刻机是芯片制造的核心设备，市场规模全球第二 ·一超两强垄断市场，大陆卡脖子现象凸显光刻机：...

2023-06-19 标签：传感器 mems 光刻机 1.3万 0

探析倾角传感器的原理及应用场合

“倾角传感器”顾名思义，就是测量倾斜角度的一种角度传感器。倾角传感器应用场所极多，随着MEMS技术的发展，倾角传感器得到越来越广泛的应用。适合应用于工厂...

2019-02-26 标签：传感器 MEMS 1.3万 0

量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

子理论的创立是 20 世纪最辉煌的成就之一，它揭示了微观领域物质的结构、性质和运动规律，把人们的视角从宏观领域引入到微观系统。一系列区别于经典系统...

2018-02-06 标签：mems 交通量子传感器 1.3万 0

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IoT是Internet of Things的缩写，字面翻译是“物体组成的因特网”，准确的翻译应该为“物联网”。物联网（Internet of Things）又称传感网，简要讲就是互联网从人向物的延伸。
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