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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计

目前敏感薄膜的材料多采用重掺杂p型硅、Si3N4、单晶硅等。这几种材料都各有优缺点，其选择与目标要求和具体工艺相关。硅膜不破坏晶格，机械性能优异，适于阳...

2018-03-30 标签：电容 mems 压力传感器 2.1万 0

什么是微机电系统主要种类及相关技术介绍

微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。MEMS将电子系统和外部世界有机地联...

2018-04-14 标签：传感器 mems 2.1万 0

五大主流智能手环MEMS传感器盘点

近几年，各种智能穿戴设备兴起，其中智能手环、腕表更是花样繁多，但究其根本，在核心硬件原理上，都大同小异，而传感器作更是其中必不可少的一环，下面笔者就为大...

2014-11-18 标签：传感器技术 MEMS 智能手环 2.1万 0

3种光电效应，解读光电传感器核心工作原理

光电传感器指采用光电元件来检测物体的有无和表面状态的变化等的传感器，一般由发送器、接收器和检测电路三部分组成，工作原理是先把被测量的变化转换成光信号的变...

2021-02-05 标签：CMOS 光纤传感器光电传感器 2.1万 0

浅谈MEMS惯性传感器

麦姆斯咨询：高精度惯性传感器主要用于测量倾角、加速度和振动等。惯性传感器作为MEMS器件，以单晶硅传感器元件为基础，采用最新的微机械加工技术制备。

2019-01-29 标签：传感器 MEMS 2.0万 0

MEMS麦克风的结构和工作模式概述

人们使用电脑和智能设备的方式的变化，推动对可靠和高性能MEMS麦克风的需求。

2018-11-15 标签：MEMS 音频 1.9万 1

光开关原理图的创建和仿真

微小的MEMS光开关在这些数量庞大的光纤系统中发挥着重要作用。此类开关涉及机械、光学和电气三个领域，因而是适宜作为利用Tanner EDA工具进行MEM...

2018-05-31 标签：MEMS 光开关 Tanner 1.9万 0

MEMS陀螺仪的原理及应用案例分析

Leon Foucault在1852年发明了世界首个陀螺仪，这种传统的机械式陀螺仪如图1所示。Foucault认为，利用固定位置上的旋转物体可以测量地球...

2018-01-17 标签：mems 1.8万 0

看看那些曾经改变世界的芯片

相信你画过很多电路的话，接触过很多芯片的话，应该有些芯片是你觉得历史中最重要的，足以影响整个世界的。

2017-08-31 标签：芯片放大器 mems 1.7万 0

浅析MEMS麦克风的结构与工作模式

随着智能设备的迅猛发展，市场需要更高性能的麦克风，而MEMS可以在紧凑的尺寸内麦克风提供高性能和保真度及可靠性，适用于便携式设备。本文介绍了MEMS麦克...

2018-11-28 标签：MEMS 麦克风 1.7万 0

技术前沿：原子层沉积ALD介绍

薄膜沉积是指在基底上沉积特定材料形成薄膜，使之具有光学、电学等方面的特殊性能。

2023-07-13 标签：光伏电池 mems PVD 1.7万 1

5G手机拆解：Reno3 5G除了联发科天玑1000L还有哪些联发科芯片

论5G的SoC ，Media Tek天玑1000L 必定有姓名。截止目前搭载天玑的仅OPPO Reno3 5G，拆解后，分析Reno 3内部用多少联发科...

2020-04-02 标签：联发科 mems 5G手机 1.7万 0

MEMS激光雷达公开演示以及其优点介绍

长距离、高分辨率、低成本、高量产能力、车轨级别的质量与稳定性——RS-LiDAR-M1 Pre注定将是一款令所有寄望快速量产的自动驾驶量产车型，所翘首以...

2018-01-11 标签：mems 激光雷达自动驾驶 1.7万 0

浅谈MEMS传感器的分类及应用领域

MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米...

2018-04-04 标签：传感器 MEMS 1.6万 0

Yole总结列出了影响我们当下及未来的九大趋势

2017~2023年智能汽车产业传感器市场预测麦姆斯咨询认为，当5G真正到来时，RF（射频）滤波器的需求将进一步增长，而MEMS领域增长速度最快的将会是...

2018-06-04 标签：传感器 MEMS 人工智能 1.6万 0

对于ATE测试仪器仪表，典型测试设备系统设计

由于待测器件（DUT）的复杂性提高，通道/引脚数量和功能增加，因而测试类型和所需测试数量也随之增加。并且每个器件评估需要进行数百项测试，特别是在自动测试...

2018-07-16 标签：测试测量 adi MEMS 1.6万 0

关于微惯性器件MEMS与ASIC系统集成关键技术的分析

MCM方案主要通过金丝键线或倒装焊的方式实现MEMS结构与ASIC系统的集成，与PCB方案相比，除了大幅改善SWaP指标之外，还能缩短信号路径、减小寄生...

2019-12-01 标签：asic mems soc 1.6万 0

了解IMU带宽及其在系统稳定性中的应用

无人飞行器安装的监控设备、海上微波接收机、车辆安装的红外成像系统传感器以及其他仪器系统都需要具有稳定的平台，以达到最佳性能，但它们通常在可能遇到振动和其...

2018-03-06 标签：mems 伺服电机加速度计 1.6万 0

基于声机电类比原理的压电麦克风等效电路模型

目前应用最广泛的麦克风类型是微机电系统（MEMS）电容式麦克风，其主要结构为电容器结构，由背极板、振膜以及背极板和振膜之间的空气域组成。

2018-11-30 标签：MEMS 等效电路 1.6万 0

剖析MEMS的几种RF相关应用产品SAW,BAW, FBAR filter

Piezoelectricity这词来源于希腊语 piezein，表示施加压力，1880年由两位法国物理学家(Pierre，Paul-Jacques C...

2018-05-10 标签：滤波器 MEMS 通信系统 1.5万 2

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IoT是Internet of Things的缩写，字面翻译是“物体组成的因特网”，准确的翻译应该为“物联网”。物联网（Internet of Things）又称传感网，简要讲就是互联网从人向物的延伸。
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