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台积电又跳过22nm工艺 改而直上20nm

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2023-04-12 10:07:19454

多晶硅蚀刻工艺讲解

下图显示了Intel的第6代晶体管(6T)SRAM尺寸缩小时间表,以及多晶硅栅刻蚀技术后从90nm22nm技术节点6TSRAM单元的SEM图像俯视视图。可以看出,SRAM的布局从65nm节点已发生
2023-04-03 09:39:402451

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