一、芯片分选系统的复杂性与工程挑战
芯片分选机是半导体后道封装测试环节的关键设备,负责根据测试结果,对大量芯片进行高速识别、抓取与分类摆盘。其性能直接决定了封装产线的吞吐量与良品管理效率。随着芯片封装形式多样化和测试项日益复杂,传统分选机控制系统在工程实现上面临多维度的技术挑战。
多子系统协同的时序一致性难题
一台全自动分选机集成了视觉定位、高速多轴分拣机械手、晶圆或条带供料、多路传送带及分类料仓等多个子系统。传统方案采用“工控机+视觉卡+多轴运动控制器+大型PLC”的架构,各子系统间通过以太网、现场总线或IO硬线交互信号。这种分布式架构在高速运行时(如每小时处理上万颗芯片),各子系统内部的时钟基准与通信延迟存在差异,导致“视觉拍照坐标”与“机械手实际抓取位置”之间产生动态误差,影响拾取成功率,设备速度被迫在稳定性与效率间折衷。
海量离散IO的布线、管理与可靠性问题
分选机遍布大量传感器(如到位光电、气压检测、真空传感、料仓状态)与执行器(如电磁阀、气缸、指示灯、继电器)。传统大型PLC通过集中式IO模块或远程IO站管理,导致从电控柜到设备末端执行部位的线缆数量庞大、布线复杂。这不仅增加了装配成本与难度,更在长期高频振动下,线缆与接插件成为潜在的故障点,维护排查困难。此外,气路电磁阀的快速开关会产生电磁干扰,可能通过共用电源或地线影响敏感的视觉与测量信号。
分类逻辑的复杂性与调试效率瓶颈
最终分类动作基于多源决策:包括电性测试结果(Bin Code)、视觉外观检查结果(如墨点、划痕、方向)、以及可选的映射关系(如根据客户要求重映射Bin)。这些判断逻辑通常以硬编码或数据库查找表形式实现,当引入新的芯片型号或分类规则时,需要工程师手动编写或修改逻辑,调试周期长,且易因规则复杂而产生逻辑漏洞,影响分选准确性。
设备维护与工艺优化对现场介入的依赖
设备参数调优(如机械手运动曲线、视觉照明参数)、故障诊断或程序更新,通常需要工程师亲临洁净室或生产现场,通过连接专用软件进行操作。这不仅响应慢、成本高,而且人员频繁进入高等级生产环境也引入了不必要的管理复杂度与潜在污染风险。
二、解决方案概述:基于统一平台的同步、感知与控制集成
本方案以ARMxy BL370系列边缘工业计算机为单一控制核心,旨在通过硬件集成与软件重构,解决芯片分选机在系统协同、IO管理和智能决策方面的工程问题。
统一控制与计算平台:采用BL372B作为主控制器。其异构计算架构实现明确分工:四核ARM Cortex-A53处理器运行Linux系统,承载视觉处理算法、分类决策逻辑、数据管理及网络通信等高层应用;独立的ARM Cortex-M0内核,在Linux-RT-5.10.198实时操作系统的调度下,专门负责多轴机械手的轨迹插补控制、所有高速离散IO的扫描处理以及EtherCAT通信管理等对时序确定性要求苛刻的任务。这种设计分离了非实时与实时负载,避免了复杂算法对控制周期稳定性的干扰。
基于EtherCAT的硬实时协同网络:通过内置的IgH EtherCAT主站,构建统一的设备控制骨干网。视觉相机的触发模块、机械手各关节的伺服驱动器、以及管理大量气动与传感器的分布式EtherCAT IO站(如BL200系列耦合器),均可作为从站接入同一网络。EtherCAT的分布式时钟机制确保了从“视觉拍照触发”到“机械手收到位置指令”的整个链路,在一个高度同步、微秒级抖动的通信周期内完成,为高速下的稳定抓取提供了基础。
模块化、分布式的IO管理:摒弃将所有IO拉回中央柜的旧方案。在设备各功能模块(如供料站、分拣头、料仓)附近,部署小型的EtherCAT IO耦合器,并插接所需的X/Y系列模块化IO板卡。这些IO站通过一根EtherCAT网线与主控相连,极大简化了现场布线,减少了长距离模拟信号传输,提高了抗干扰能力和维护便捷性。
软件定义的智能与可维护性:通过上层软件工具,将复杂的硬件能力转化为用户易用的工程功能。
三、系统IO需求分析与模块化选型配置
芯片分选机的IO系统以高速、高密度的开关量为主,兼具部分模拟量监测需求。
1. 核心控制单元选型
主控制器:BL372B(3×EtherCAT网口,1×X板槽,2×Y板槽)。网口一用于连接机械手伺服与视觉触发系统;网口二用于连接分布在设备各处的EtherCAT IO站网络;网口三接入工厂生产网络。
处理核心:SOM372(RK3562J, 32GB eMMC, 4GB LPDDR4X),为存储视觉特征库、海量分类规则和详细生产日志提供空间。
操作系统:Linux-RT-5.10.198内核,保障运动控制和IO响应的确定性。
2. 分布式IO配置策略与选型
由于IO点数量庞大且分散,推荐采用“主控+分布式EtherCAT IO站”的架构。主控的X/Y槽可用于安装特殊功能板卡,而大量通用IO则下放至IO站。
| 功能区域 | 信号类型与需求 | 推荐配置(在EtherCAT IO站内 ) | 功能说明 |
| 拾取头单元 |
DI:真空压力开关信号、拾放到位传感器。 DO:控制拾取真空阀、吹气阀。 |
Y01板(4DI+4DO NPN) 或Y02板(PNP) | 直接安装在分拣臂附近,响应速度快,控制抓放动作的核心IO。 |
| 供料与传送单元 |
DI:料带索引孔检测、物料有无检测、门开关安全信号。 DO:控制料带步进电机、传送带启停、定位夹紧气缸。 |
组合使用Y11/Y12板(8DI)、Y21/Y22板(8DO) | 处理供料与输送环节的序列控制与安全互锁。 |
| 分类料仓单元 |
DI:料仓在位、满载检测。 DO:控制料仓挡板、推杆等导向机构。 |
X13板(2DI+2DO) 或类似组合 | 根据料仓数量多路复用。 |
| 系统监测 |
AI:监测系统总气压、关键部位温度。 AO:调节背光照明亮度(可选)。 |
Y31板(4路AI)、Y43板(4路AO) | 用于设备健康状态监控与工艺参数微调。 |
3. 软件功能实现
QuickConfig与AI辅助分类逻辑:该工具提供图形化界面,用于管理核心工艺参数。其关键价值在于:
视觉-动作标定:轻松配置视觉坐标系与机械手坐标系的映射关系。
分类决策树配置:用户可通过流程图或规则表方式,直观配置分类逻辑。例如,可设定规则:“如果电测结果为Bin2,且视觉检测无划痕,则放置到料仓A;否则,放置到回收仓”。
AI辅助简化:对于更复杂的视觉分类(如区分多种瑕疵类型),AI辅助功能可以分析一批已标记的样本图像,自动学习图像特征与操作员分类决策的关联,从而生成或建议一个初始的分类规则模型,大幅降低基于复杂视觉规则编程的难度和耗时。
远程维护与数据洞察:借助BLRAT工具,工程师可在远程办公室安全访问设备控制器,进行实时状态监控、参数调整、日志下载和程序更新,有效减少现场维护。同时,所有分选结果、生产率、错误代码均可通过BLIoTLink上传至MES系统,实现生产透明化。
四、集成化方案的技术特点分析
相较于传统以大型PLC和分立控制器为核心的架构,本方案在系统设计范式上有所不同。
| 对比维度 | 传统芯片分选机控制方案 | 基于BL370与EtherCAT IO的方案 | 技术特点分析 |
| 系统架构与同步性能 | 视觉、运动、逻辑控制分离,协同依赖上层软件调度与网络通信,实时同步性能存在天花板。 | 硬实时统一控制平面。视觉触发、运动计算、IO扫描均在同一个EtherCAT周期框架内由主控统一调度,同步精度由网络协议保证。 | 为高速分选提供了更高确定性的系统级同步基础,有助于突破速度与稳定性的传统矛盾。 |
| IO系统结构与可靠性 | 集中式机柜内安装大量IO模块,引出数百根线缆至设备各处,形成复杂的线束。 | 分布式、模块化IO。IO站就近安装,通过单一网线连接,线缆数量与复杂度呈数量级下降。模块化板卡易于更换。 | 显著提升了系统的可靠性、可维护性,并降低了制造与装配成本。 |
| 分类逻辑开发与迭代 | 规则修改涉及PLC或工控机程序变更,需要编程技能,调试周期长。 | 软件定义、图形化配置。分类逻辑与核心控制程序解耦,通过QuickConfig以更直观的方式管理,AI工具能辅助降低复杂视觉规则的配置门槛 。 | 提升了设备的工艺柔性,使设备能更快地适应新产品、新规则,降低了终端用户的使用难度。 |
| 数据关联与维护模式 | 故障诊断需分别查看PLC、运动控制器、工控机日志,数据关联性差。远程能力有限。 | 全数据统一平台与远程通道。所有控制、传感、视觉事件在主控内带统一时间戳记录。结合BLRAT,实现了高效的远程状态监控与故障诊断能力。 | 变革了设备的运维模式,支持预测性维护与远程专家支持,提升了设备可用性。 |
五、总结
基于ARMxy BL370边缘控制器构建的芯片分选机解决方案,其核心思路是通过“统一控制核心”与“分布式智能IO”相结合的技术路径,对传统分散式架构进行重构。该方案不仅通过EtherCAT实现了跨子系统的硬实时同步,更通过模块化IO解决了大规模物理信号连接的工程难题。
在此基础上,软件层提供的图形化配置工具与AI辅助功能,将复杂的机器视觉分类逻辑从代码编写转变为策略配置,提升了设备的智能水平与工艺适应性。整体方案从工程可实现性、系统可靠性、操作友好性与可维护性等多个维度,为开发高性能、高柔性的芯片分选设备提供了具备可行性的新一代技术平台参考。
审核编辑 黄宇
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