中国移动，控制了一条国产 MEMS 芯片产线

近日，我国通信巨头中国移动，通过旗下的两支产业基金——北京中移数字新经济产业基金合伙企业（有限合伙）、上海中移数字转型产业私募基金合伙企业（有限合伙），入股安徽华鑫微纳集成电路有限公司（下文简称“华鑫微纳”）。 与中国移动同期投资华鑫微纳的，还有中建材（安徽）新材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）。 本次，中国移动不仅仅只是财务投资华鑫微纳这么简单。  虽然公开资料未披露本次中国移动、中建材投资华鑫微纳的投资金额和股权比例，但随着这两家巨头成为新股东，芯的（上海）集成电路技术有限公司等6家机构集体退出股东序列。 而据此前公开资料显示，芯的公司等6家机构共计持有华鑫微纳股权比例约为66.5859%。 此外，随着本次股权变更，华鑫微纳多位公司高管也进行调整，公司注册地址亦进行变更。据公众号【通信头条】披露消息显示——该消息未经证实，中国移动已委派张伟出任华鑫微纳新任董事长。 种种信息显示，中国移动或已全面入主这家新兴的国产MEMS芯片代工企业。 中国移动，为什么要控制一条MEMS芯片产线？为什么选择华鑫微纳？  

光通信、具身智能、AI……中国移动的战略转型，MEMS芯片必不可少

中国移动作为中国三大运营商之首，进入5G时代后，其增长愈发缓慢，逐渐沦为纯粹的数据传输供应商。 为了建立新的业绩增长点，增强在未来智能时代的市场地位，近年来，中国移动加速了其战略转型之路。 目前，中国移动正从传统的通信服务、云网融合，通过资本投资、产业联盟等渠道，利用其雄厚的资金和行业影响力，进入具身智能、半导体芯片等核心领域，打通未来智能时代的全产业链。 资料显示，截至2025年7月，中国移动已在信息服务产业链投资布局企业超500家，投资规模超2000亿元，重点聚焦人工智能、卫星通信、低空经济等前沿领域。在2025年7月，中国移动具身智能产业创新中心牵头，联合宇树、智元、银河通用、钛虎、云深处、戴盟、星动纪元、众擎等核心生态伙伴，共同发起“具身智能产业合作计划”，并在12月份，中国移动旗下链长基金，独家亿元投资国产触觉传感器初创企业戴盟机器人。相关信息参看中国移动，独家投了深圳一家传感器初创企业 显然，入主华鑫微纳，亦是中国移动战略转型的核心一环。 以MEMS技术为核心的微纳智能传感器，是未来智能时代数据采集的关键入口，亦是具身智能、人形机器人的重要感知部件。 常见的MEMS器件主要分为MEMS传感器和MEMS执行器，包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。  在具身智能机器人领域，MEMS技术是机器人感知系统的重要组成，机器人需要感知环境（如位置、姿态、力、温度、气体等），MEMS集成了加速度计、陀螺仪、压力传感器、力传感器等传感器，可以为机器人提供与外部环境的交互。相关信息参看院士团队最新综述：MEMS技术在具身智能机器人中应用的现状与挑战 在通信领域，MEMS技术是射频芯片、光通信的重要基础技术。射频MEMS器件分为MEMS滤波器、MEMS开关、MEMS谐振器等。 射频前端模组主要由滤波器、低噪声放大器、功率放大器、射频开关等器件组成，其中滤波器是射频前端中最重要的分立器件，而MEMS技术是5G/6G BAW滤波器的核心制造工艺。

在光通信系统中，需要用光开关来实现光信号的路由和交换，MEMS光开关可以实现高速（纳秒级响应）、低损耗（<1dB）、高可靠性的功能，是大容量光通信系统中的关键器件。 在2025年末，谷歌的TPU以其AI推理训练能力，震惊全球AI届，甚至撼动了英伟达的GPU地位。 而谷歌TPU集群依赖于光电路交换（OCS）网络的高吞吐量，OCS的功能核心则基于MEMS微镜技术。

▲谷歌TPU集群及OCS连接示意图

由此，MEMS技术串联起具身智能、机器人、光通信、5G/6G射频芯片、AI芯片等等前沿领域——这些领域正是未来智能时代的所在，正是中国移动战略转型的方向。 为什么选择华鑫微纳？ 投资超50亿元，发改委、工信部等关注的国家集成电路重大项目，产能达3万片/月，拥有MEMS微镜等全面的工艺研发能力 这或许于华鑫微纳在MEMS产业的技术定位有关。 华鑫微纳成立于2022年3月，项目总投资约50.6亿元，产线位于中国（蚌埠）传感谷东侧地块，项目建设用地150余亩，分二期建设，一期总建筑面积约75000平方米，主要包含生产厂房、动力厂房、生产研发楼、仓库等。 2022年11月，华鑫微纳MEMS芯片产线项目获得国家发改委审批，是国家集成电路生产力布局的重大项目，也是发改委、工信部、安徽省关注的重大工程项目，项目目标通过自主可控的关键核心技术推动中高端MEMS器件的国产化替代进程。 华鑫微纳定位于8英寸MEMS智能传感器核心器件制造平台，是集成硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成及2.5D/3D微系统技术于一体的开放式、定制化柔性MEMS芯片生产线，拥有惯性传感器、光MEMS执行器（包括光MEMS微镜、激光雷达扫描镜、光通信微镜等）、环境传感器（压力、温度、气体、流量等）以及MEMS微流控、MEMS喷墨打印头、MEMS时钟谐振器等全面、完善的MEMS产品的工艺研发和量产能力。 相比国内同类MEMS产线，华鑫微纳在产线自动化方面处于国内领先地位，部署了智慧能源、数字孪生、智能仓储等系统，已建成国内首条全自动天车系统的8英寸晶圆产线，实现超90%自动化率和近无人化生产。 华鑫微纳MEMS芯片产线在2023年3月开展基础施工，同年8月份厂房封顶，2024年9月份设备进场，2025年3月份完成工艺、设备调试，同月，华鑫微纳MEMS芯片产线第一片晶圆下线，产线建设历时2年时间。 产能方面，华鑫微纳达产后预计月产8英寸晶圆1万片，到2027年将达到规划月产3万片。 ▲华鑫微纳MEMS晶圆片展示 团队超20年MEMS芯片研发经验，体硅工艺领先，聚焦3大类MEMS产品
华鑫微纳团队拥有21年的MEMS产品工艺研发经验，主要基于体硅工艺研发陀螺仪、加速度计、光MEMS微镜等高性能MEMS器件。 体硅工艺是MEMS器件三大制造工艺之一，MEMS制造工艺主要包括表面微加工技术、体微加工技术（体硅工艺）、LIGA技术等，目前应用范围最广、技术最成熟的为前两者。相关资料参看《MEMS传感器芯片是怎样被制造出来的？》 对未来华鑫微纳的MEMS代工业务规划，据华鑫微纳副总经理张胜兵介绍，华鑫微纳聚焦3大部分： 第一类为成熟产品，包括硅麦克风等消费级MEMS传感器，以及压力、温度等环境类MEMS传感器产品，这部分产品将是华鑫微纳未来代工业务出量的大头，预计占据产能的50%~60%。 第二类为核心产品，将是华鑫微纳高利润的来源，主要聚焦中高性能的汽车级、工业级传感器，譬如车规级压力、惯性传感器，工业级MEMS光开关、微镜、MEMS谐振器等，这也是华鑫微纳的拳头产品，预计占据产能的30%~40%。 第三类为战略产品，主要为压电MEMS产品，华鑫微纳布局了压电喷墨头、压电微流控等器件，以及电容式MEMS超声波换能器（CMUT）、微泵、多光谱成像等等先进前沿的MEMS产品技术，预计占据产能的5%~10%。 从成熟产品、核心产品到战略产品，从消费级MEMS到车规级、工业级MEMS，再到压电MEMS、CMUT等前沿MEMS产品，华鑫微纳构建了清晰的阶梯级产品规划，这个战略规划也展现了华鑫微纳的技术优势。 据张胜兵介绍：“可以看到，国内MEMS产品真正成熟能够上量的，目前大概有三类：麦克风、滤波器和消费级压力传感器，但在高性能压电、惯性、微镜、喷墨打印头、时钟谐振器等等中高端MEMS器件，实际上国内并没有完全实现量产，这些就是我们的优势。我们团队以体硅工艺起家，拥有深厚的技术沉淀，工艺技术上完全可以对标国外的MEMS巨头，譬如TI、Silex、博世等，我们完全可以实现量产性能上的对标，并且在静电微镜等一些高端MEMS技术领域，我们还领先了很多企业。”
结语 种种迹象表明，中国移动这位通信巨头，亲自下场，控制了一条中高端的国产8英寸MEMS 芯片生产线。 随着智能时代的到来，具身智能、机器人、AI、光通信、5G/6G加速普及，MEMS作为这些领域的基础制造技术，充满想象空间。
审核编辑 黄宇