菲利华成功研发8代光掩膜板，助力显示产业供应链国产化进程

8月7日消息，湖北菲利华石英玻璃股份有限公司（以下简称“菲利华”）研发出G8代光掩膜基板，打破国外企业的垄断，为国内航空航天、半导体、平板显示、消费电子、太阳能等行业的可持续发展夯实了基础。

早在1979年，菲利华的前身沙市石英玻璃厂就根据当时建材部军工办下达的任务，在全国首家试制成功了高纯度石英纤维和硅油型石英纤维。

几十年来，菲利华始终专注产品和技术的自主创新，争取在行业中的领先地位。

“这一块1.4*1.2米的合成石英玻璃板是我们公司自主研发、国内唯一具备批产能力的G8代光掩膜基板，其主要应用于平板显示器的生产。”湖北菲利华石英玻璃股份有限公司技术中心副主任欧阳葆华介绍，此前，我国没有光掩膜基板的生产技术，市场被日韩垄断，后来菲利华逐步掌握了最先进的8代基板生产技术，国际市场8代基板价格也就随之下降。

以打造新型高科技企业为目标，菲利华形成了技术中心、制造部门和生产班组三级自主创新体系。依托国家计划项目，吸引国内石英界技术精英，培育企业技术人才，认真实践自主创新的思路。

“在刚接手一项国家重点型号武器纤维织物项目时，我也有担忧和顾虑，因为这个项目已耗时两年多，进展却并不顺利。”菲利华纤维产品事业部研发工程师孙绯博士说，为了克服这一难题，她与工艺、操作人员面对面交流探讨，开展技术培训指导，攻克了多项关键技术难题，最终仅用三个多月时间就完成了配套研制任务。

1999年以来，菲利华承担了大量的军品配套研制项目，并得到了国防科工委在条件建设上的大力支持。现大部分项目已通过验收，项目交付试用后获得广泛好评。石英纤维产品品种由最初的3个，增加到9个，在一些关键的性能指标上，已达到国际先进水平。

菲利华董事长吴学民

什么是光掩膜？

在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆（wafer）制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。光掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像LCD，PCB等方面，是核心材料之一，一直以来都被国外企业所垄断。

常见的光掩膜的种类有四种，铬版(chrome)、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，其中后者可以应用于芯片制造。

在刻画时，采用步进机刻画(stepper)，其中有电子束和激光之分，激光束直接在涂有铬层的4-9" 玻璃板上刻画，边缘起点5mm，与电子束相比，其弧形更逼真，线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有称为中间掩膜，reticle作为单位译为光栅)，用步进机重复将比例缩小到master maks上，应用到实际曝光中的为工作掩膜(working mask)，工作掩膜由master mask复制过来。

菲利华技术中心副主任 欧阳葆华

菲利华公司作为国内领先、国际知名的石英玻璃材料及石英玻璃纤维供应商的民营企业投身国防科技工业建设，用军工的要求完善制度，用军工的标准落实内控，用军工的准则严把质量，把军工要求融入到过程的每一个细节、每一组产品，保证能力得到极大提升，产品和服务质量长期稳定。

军工研发带来的核心竞争力，为企业占领了市场的制高点。除了在石英纤维这样的军工配套产品上独步全国外，菲利华在民品市场上也领跑同行。菲利华产品应用领域从传统的化工、光源行业，拓展到太阳能、半导体、电子、通讯行业及航空、航天领域。