中微公司亮相2025中国国际工业博览会

2025年9月23日至27日，第二十五届中国国际工业博览会于上海国家会展中心成功举办。本届工博会聚焦“高端化、智能化、绿色化”发展趋势，涵盖高端装备、智能制造、工业自动化、新材料等多个前沿领域。中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）作为行业领先的半导体设备制造企业，带来了一系列先进技术与创新解决方案，全面展示了其在集成电路装备制造领域的最新成果与实力。

展会期间，工业和信息化部及上海市的相关领导参观了中微公司展台，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士结合现场展示的多媒体资料、设备模型等生动介绍了中微公司在高端微观加工设备领域的技术创新成果，给参观代表团留下了深刻印象。

中微公司坚持“技术创新、产品差异化及知识产权保护”的原则进行开发，开发了包括单台机、双台机在内的三代、二十多种刻蚀设备，包括CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀设备两大类，覆盖从65纳米到5纳米及更先进工艺的刻蚀应用。此次展会展示了刻蚀设备、导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD、LPCVD、ALD和EPI设备，这些设备已在行业占据领先地位。展会上，中微公司创意呈现的裸眼3D视频给观众带来了强大的视觉震撼效果，并通过多媒体展示、实物模型、融合海报等多样化形式展示了中微公司在集成电路微观加工高端设备领域的创新解决方案。

9月24日上午，中微公司副总裁、QEHS负责人沈晓敏在“2025上海集成电路ESG发展论坛”上发表了题为《从披露到赋能：ESG助力企业可持续发展》的主题演讲。沈晓敏在演讲中分享了中微公司在ESG领域的实践与思考。他表示，作为半导体设备领军企业，中微公司始终坚持合规运营，倡导产业链合作共赢，为行业树立ESG实践标杆。中微公司将ESG从报告披露层面逐步提升至战略赋能高度，将可持续发展理念融入产品创新和运营管理全过程，推动企业高质量发展。

攀登勇者，志在巅峰，中微公司将瞄准“打造世界级装备企业”战略目标，不断加大研发力度，持续夯实公司在高端微观加工设备领域的核心竞争力，秉承“五个十大”的企业文化，坚持三维立体发展战略，实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展，力争尽早成为高端设备平台化公司，在规模上和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司！

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类、包括二十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI设备，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。此外，中微公司已全面布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备。这些设备都是制造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。在美国TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半导体设备客户满意度调查中，中微公司四次获得总评分第三，薄膜设备四次被评为第一。