江苏集芯首枚8英寸液相法高质量碳化硅单晶出炉​

据徐州日报报道，近日，徐州高新区再传捷报—— 江苏集芯先进材料有限公司（以下简称 “江苏集芯”）成功出炉首枚 8 英寸液相法（LPE）高质量碳化硅单晶。经检测，晶体面型、晶型与结晶质量均达到预期目标，标志着江苏集芯在第三代半导体核心材料领域再下一城，也为我国碳化硅产业链的自主可控写下关键一笔。

碳化硅晶体是第三代半导体的重要基础材料，在6/8 英寸物理气相传输法（PVT）已实现量产的基础上，江苏集芯 “自我革命”，仅用半年便完成液相法工艺从 6 英寸到 8 英寸的研发跨越。相比 PVT，液相法在生产效率、材料利用率、成本控制及大尺寸扩径等方面优势显著，被公认为下一代碳化硅长晶的核心路线。全球范围内，仅极少数顶尖机构曾试制出液相法晶体，真正迈入 8 英寸级仍属罕见。江苏集芯此次突破为未来低成本、低缺陷、易掺杂的碳化硅晶体生产打通了 “快车道”。

截至目前，江苏集芯已布局专利167 件，其中发明专利 83 件，覆盖晶体生长等全流程。此次液相法 8 英寸单晶的成功，将进一步夯实其 “大尺寸 + 低成本” 双轮驱动战略，为后续产能扩张、市场份额提升和长期价值增长奠定技术底座。

江苏集芯的新突破，不仅提升了我国第三代半导体材料的战略安全水平，也为徐州打造千亿级第三代半导体产业集群注入了“加速度”，有望吸引更多上下游企业集聚，形成 “材料 — 芯片 — 系统” 完整生态，进一步放大区域在全球新兴产业版图中的声量与影响力。

来源：半导体芯科技

审核编辑 黄宇