赛默飞世尔科技推出改进半导体制造的质量控制及提高其产量的新品

科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技公司宣布推出可改进半导体制造的质量控制以及提高其产量的新产品。这些新产品将于 2018 年 3 月 14-16 日在上海举办的中国国际半导体工业技术展上进行展示（N5 展厅 5619 号展位）。

“赛默飞世尔根深深扎根于用于控制半导体和显示屏制造领域的制造工艺以及诊断工艺和产品故障的根本原因的先进分析技术，”赛默飞世尔半导体事业部副总裁兼总经理 Rob Krueger 说。“本周，我们将推出新产品，帮助推动亚洲（特别是中国）半导体制造能力的快速创新和持续扩张。”

Verios G4 极高分辨率 SEM

Thermo Scientific Verios G4 极高分辨率 (XHR) 扫描电子显微镜 (SEM) 提供确定缺陷、成品率损失以及工艺和产品故障的根本原因所需的功能和灵活性。

“Verios G4 是从我们 DualBeam（聚焦离子束/SEM）仪器大获成功的 Helios 系列衍生出来的纯 SEM 解决方案，”Krueger 说。“该产品可在各种条件下提供行业领先的性能，尤其是在先进工艺中使用的电子束敏感材料所需的低电压条件下。”

Hyperion II 快速高效的纳米探针

纳米探针可以对各个晶体管进行直接电气测量。新型 Thermo Scientific Hyperion II 是唯一一款基于原子力显微镜 (AFM) 的商用纳米探针，它消除了基于 SEM 的纳米探针的真空要求和电子束/样本相互作用。Hyperion II 的自动化操作和成像模式旨在提高速度和易用性。此外，其精确定位电气故障的能力可提高后续 DualBeam 或 TEM 分析的速度和效率。

用于快速可靠的化学监测的 iCAP TQs ICP-MS

Thermo Scientific iCAP TQs 电感耦合等离子体质谱仪 (ICP-MS) 是成熟的 iCAP TQ ICP-MS 的专用半导体版本。它能够快速、可靠且可重复地测量超高纯度 (UHP) 化学品中的低浓度污染物，以支持先进的半导体制造工艺的自动化在线监测和统计过程控制。iCAP TQs ICP-MS 在单个高性能解决方案中将超低浓度检测和简便性提高到全新的水平。利用这个全新系统，现在可以将化学分析从实验室迁移到制造厂，并实现在线控制化学浴，从而缩短响应时间。