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6.3.4.3 确定表面势、6.3.4.4 Terman法∈《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》

深圳市致知行科技有限公司 2022-01-07 11:49 次阅读
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6.3.4.4 Terman法

6.3.4.3 确定表面势

6.3.4 电学表征技术及其局限性

6.3 氧化及氧化硅/SiC 界面特性

第6章碳化硅器件工艺

《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》

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