三分钟了解超精密运动控制技术

什么是超精密运动控制技术？

超精密运动控制技术是一门集精密机械、精密控制、精密驱动、精密传感、精密测量、精密集成技术于一体，实现在纳米精度范围内的运动控制的综合技术，也是三英精控最主要的核心技术。

该技术有什么创新点？能为客户创造什么价值？

公司技术创新点体现在四个方面：一是超精密运动控制平台机构设计方法；二是超精密伺服先进控制算法；三是核心部件的研发；四是系统标定与误差补偿技术。

在技术成熟性论证方面：针对纳米材料、半导体产业、生命科学、精密制造、计量测试技术等领域的需求，攻克了设计与制造、组装与校准等难点问题，突破了纳米位移台有限元优化设计、高精度位移传感器、制造组装工艺、高级控制算法、搭建测试校准平台等关键技术，整体技术指标达到国际先进水平，个别技术指标达到国际领先水平。该技术成果已通过了中国计量科学研究院的验证；公司牵头承担了两项国家科技部项目，其中一项已圆满完成，得到科技部的认可和高度评价。

在应用方面：半导体全产业链的加工、检测设备；LCD/LED及其它显示器制造设备；激光加工设备；生物医学显微镜和操作仪器；卫星激光通讯核心器件；广泛应用于各类精密机床、航空航天以及国防军工业等。

在竞争力方面：公司的核心技术路线符合“中国制造2025”规划的发展方向，是国产替代的关键点之一。并且公司参与制定了两个国家标准：GB/T 38616-2020《纳米定位与扫描平台术语》和GB/T38614-2020《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》。均已于2020年11月实施。

三英精控相关产品

公司基于超精密运动控制技术开发的产品有：纳米位移定位平台系列产品、纳米位移电容传感器系列产品、纳米摆角台系列等。

审核编辑hhy