智芯传感推出ZXP6系列高精度宽温域差压气体压力传感器

我们知道，MEMS（Micro-Electro-Mechanical System微机电系统）是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件，是一个集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。

MEMS加工技术带动了传感器向微型化发展，尽管MEMS技术能够将工艺精度控制在很小的范围内，但还是很难精确地控制扩散硅的掺杂浓度，这就直接导致了MEMS传感器零位温度漂移和灵敏度温度漂移的存在。工作温度范围变化通过两种方法影响传感器：其一是造成零点漂移，其二是影响整个量程的输出。当MEMS传感器工作温度的范围不断增大时，为减少由于温度的变化产生的漂移现象，就需要对MEMS传感器进行温度补偿。不过，温度范围越宽，补偿技术难度越大，校准工作量也越大，所能保证全温度范围的精度也越难。

为解决温度范围和传感器精度之间的矛盾，北京智芯传感科技有限公司（简称：智芯传感）通过多年的研发和实践，推出了ZXP6系列高精度宽温域差压气体压力传感器。该压力传感器的核心是MEMS压力传感器和专用调理芯片，采用了当前先进的压力传感器技术和高集成、低功耗、高精度的数字信号处理技术，提供了完整的压力校准和温度补偿，获得放大的模拟输出信号，可实现全温区范围内最大误差率仅为1%。

智芯传感ZXP6系列差压气体压力传感器适用领域也非常广泛，目前已在医疗、工业和消费电子等多个领域进行产品应用并收获市场高度认可及客户广泛好评。其中，在医疗应用方面，ZXP6差压气体压力传感器凭借优秀的性能参数表现及产品特性，成为呼吸机气路系统的关键部件。在呼吸机工作过程中，ZXP6差压气体压力传感器生成的信号，能够帮助微处理器调节电机，从而调整或维持病人吸气和呼气所需的气压，时刻监测病人的呼吸信号来控制呼吸器的动作，使之与人体呼吸同步。而在另一款“救命神器”制氧机的使用中，ZXP6差压气体压力传感器可对制氧机中吸附塔压力进行精准测量，进而为制氧机供氧调节提供重要数据支持，确保充足供氧，同时，可对患者是否有开始吸气进行监测，以避免不吸气时氧气的浪费。此外，ZXP6差压气体压力传感器还在生物安全柜、肺量计、呼吸功能检测仪器等多个医疗器械中适用并发挥重要作用。

智芯传感ZXP6系列差压气体压力传感器性能优良，可供量程-500-500kPa差压和表压的气体测量，工作温度范围达到了40~125℃。另外，智芯传感ZXP6差压气体压力传感器有贴片和插针式两种安装方式，采用先进的 MEMS微加工工艺设计制作，通过高可靠性封装技术，产品的精度和稳定性可以达到±1%FS。

智芯传感ZXP6差压气体压力传感器，实现了宽温域高精度监测，凭借先进的产品性能在医疗、工业、消费电子等多个应用中发挥重要作用。相信在越来越多的市场检验中，智芯传感ZXP6差压气体压力传感器一定能够进一步为客户提供安全可靠、质量稳定、体验卓越、价格合理的产品服务，进而创造更高的产品价值。

审核编辑：汤梓红