马萨诸塞州比佛利2022年3月31日 /美通社/ -- 半导体行业离子注入支持解决方案的领先供应商Axcelis Technologies, Inc.(纳斯达克股票代码:ACLS)今天宣布,公司向日本领先的功率设备芯片制造商发运其Purion XE™高能和Purion M™中等电流Power Series™注入机。这些系统将用于大批量生产基于300mm薄硅晶圆的MOSFET和IGBT设备,以用于汽车和其他功率管理应用。
产品开发执行副总裁Bill Bintz表示:“Purion Power系列的独特功能,结合功率设备领域的密集注入特性,将赋予Axcelis独特的条件来从这一市场的增长中受益。这些工具集成了多项功能和工艺控制能力,包括该平台为功率设备市场提供支持的薄晶圆处理能力。我们期待扩大Purion平台在日本的业务范围,并支持我们客户实现提高制造能力的目标。”
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