2021年因关键元件备货不足，EUV设备供应产能受限

全球光刻机大厂ASML（艾司摩尔）在日前的2020 年第4 季与全年财务电话会议上透露，2020年全年ASML营收达到140亿欧元，其中有45 亿欧元的收入来自EUV（极紫外光微影）设备的销售，而DUV（深紫外光微影）设备则是创下73亿欧元的纪录。总裁暨执行长Peter Wennink 表示，2021 年的EUV 设备供应仍将因关键元件备货不足而持续吃紧。

而值得注意的是，以2020 年来看，台湾在ASML销售地区占比虽仍维持最高，但从前一年的51% 下降至36%，反之，南韩则是从16% 上升至31%，来自三星的设备需求是推动南韩市占的最大因素。另一方面，中国虽然遭受贸易制裁，无法取得EUV 设备，但其他设备的销售仍使中国的销售占比从12% 上升至18%。

至于全世界最关注的先进制程与EUV 设备供应方面，Peter Wennink 表示，由于受到客户预定数量的影响，2021 年的EUV 设备产能将不会有太大的成长。

实际上，2020 年初因为疫情影响，多数电子产品需求预估皆悲观，这使得不论是先进逻辑晶片，或者是记忆体晶片的需求都被严重低估。市场根据Peter Wennink 的发言研判，2020 年由于英特尔取消了预定的EUV 设备，所以台积电、三星都分到比预期更多的EUV 设备。但台积电因为原本谈好的3 奈米客户被制裁而无法下单，因此原本在2021 年预定的EUV 机台数量也大幅削减。而虽然Peter Wennink 并没有提到三星有什么变动，但根据三星从去年开始大增的资本支出来看，极可能已趁机扩大其EUV 机台储备。

由于EUV 的交期长达20 个月，如果前一年没有确定好数量，那么就只能等待下一个预定与出货的时程循环，因此在2020 年底，台积电回头想要紧急加回新年度的EUV 机台预定量，ASML也爱莫能助。不过Peter Wennink 强调，2021 年下半年的新型号机台3600D 将取代既有的3400C，其产能增加了15%，可以相当程度舒缓晶圆代工厂产能的紧绷。

机台产能虽受限，但新机台效率可提升15%

Peter Wennink 在会议上指出，EUV 机台需要许多关键零组件与光学元件，这些元件的制造非常困难，事实上为了台积电的追加订单，ASML也询问相关供应链是否能紧急增产，补足原本计划中不足的部分，但得到的回应也是无能为力。他认为，原本要在2021 年达到50 部是没有问题的，但受限于关键零件的供应，ASML无法让产能满载。不过因为订单不断，随着这些关键料件的补齐，Peter Wennink 认为2022 年ASML将可能全力运转，达到50 部的产能目标。

会议中，也有分析师询问，如何看待全球的市场布局。Peter Wennink 认为，中国的设备需求仍将持续增长，不过主要会集中在记忆体的部分，逻辑芯片代工由于受到美国法律的限制，Peter Wennink 没有办法给出明确的答案，但他乐观认为，如果美国政府依照目前的步调走下去，那么中国的逻辑芯片制造设备市场仍将会有很明显的上升空间。

Peter Wennink 补充说，2021 年另外一个可见的趋势，那就是会有越来越多EUV 设备被使用于记忆体的生产当中，不过仅限于DRAM，他并不看好NAND 使用EUV 设备的必要性。由于电子消费市场的复苏，这方面的需求可预期会有很大的成长。

编辑：hfy