MEMS压力传感器在各领域都有着怎样的应用?

MEMS压力传感器在汽车中的一个新应用是传动系统压力感测,通常用于自动装置之中,但也用于新型双离合器传动系统。

MEMS压力传感器原理及应用详解

目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机电传感器。 硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗,极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。其电原理如图1所示。硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版本如图2。 图1 惠斯顿电桥电原理 图2 应变片电桥的光刻版本 MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁,采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达0.01%~0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图3所示,上下二层是玻璃体,中间是硅片,硅片中部做成一应力杯,其应力硅薄膜上部有一真空腔,使之成为一个典型的绝压压力传感器。应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成如图2的电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中,应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起,发生弹性变形,四个电阻应变片因此而发生电阻变化,破坏原先的惠斯...

医疗应用新突破 MEMS压力传感器创新设计

日前,一支来自新加坡一家微电子研究所ASTAR的团队制作出一种小型的传感器,这种传感器将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起,从而使得MEMS压力传感器可以更稳定耐用,适用于医疗器械。 原则上来讲,设计一个小型的压力传感器是很简单的:一个压力变形隔膜嵌入一个压敏电阻器就可以了,这个压敏电阻器必须是由硅纳米线等会由压力引起抗电阻性变化的材料制成。但事实上却会出现问题,包括电路设计和和脆弱的组件,任何地方出现差错都是商用传感器的致命伤。 由于这个隔膜必须将很小的压力变化传到到压敏电阻器,同时要抵抗变形和破损,因此,这个隔膜材料的选择就显得至关重要。于是罗和他的同事们想到用二氧化硅来展现完美的压力传感性能。然而,二氧化硅虽有优越的传感性能,但也不能战胜易弯曲性这个弱点。所以,罗将解决方案改为用双层的二氧化硅,同时将压阻式的硅纳米线放在两者中间,顶层再加一层性能稳定的氮化硅。 通过蚀刻氮化硅和变化厚度、调整硅纳米线,这个团队最终发现了最优的组合。最后的传感器成功地满足了抵抗变形和机械损坏的同时仍然可以提供在压力感应下电输出的线性变化,符合高精度的医疗器械应用要求。 这个团队的主要目标是制造出...

热门专题推荐

蜂鸣器的工作原理及自制的方法和步骤介绍液压伺服系统的工作原理是什么?具有哪些优缺点?什么是GPS?它的基本概念和原理是什么?伺服系统的应用有哪些?实例介绍VGA接口如何进行正确的接线?方法介绍如何对压敏电阻进行测量?方法是什么?什么是USB?是一种属于什么样的技术?直流伺服系统的工作原理是什么?由哪些器件构成?如何实现DRAM控制器的电路设计?有源和无源蜂鸣器两者有什么不一样?如何进行区分?如何利用GPS系统进行定位?它的工作原理是什么?压敏电阻器在电路中主要是起到什么作用?伺服系统是有哪些结构组成的?它的工作原理是什么?设备中伺服系统的故障有哪些?该如何解决?USB接口拥有哪些类型?都具有什么特点?VGA接口和DVI接口有什么不同之处?接口之间如何进行转换?GPS技术在各方面都有哪些应用?压敏电阻器是什么?具有哪些技术参数?如何实现GPS接收机的低噪声放大器的设计?如何选择合适应用设计的压敏电阻?VGA接口分别都是怎样去定义的?伺服系统是什么?它的基本概念及要求是什么?如何对VGA接口进行焊接操作?详细介绍压敏电阻的应用有哪些?典型实例分析如何实现VGA接口的设计?它的工作原理是什么?GPS接收机是什么,它的应用中的工作原理是怎样的?什么是DRAM?什么是DRAM模块?DRAM市场的发展状况如何?电磁式蜂鸣器的驱动原理是什么?分析讲解压敏电阻器的基本应用原理是什么?USB的内部结构构架是怎样的?VGA接口的概念介绍,它具有哪些不同种类?SDRAM传输标准是什么?有哪些标准规定?有关于DRAM技术的相关资讯蜂鸣器的作用是什么?要如何区分它的极性?如何实现SDRAM接口电路的设计?三星在DRAM芯片产能方面有哪些消息传出?SDRAM是什么?它的基本概念介绍怎样实现SDRAM控制器的设计?设计要点是什么?如何实现GPS接收机的电路设计?SDRAM、SRAM与DRAM这几种内存的区别是什么?蜂鸣器是什么?它的基本原理是什么?什么是DDR SDRAM内存?它与SDRAM有何区别?USB接口技术及如何实现它的电路设计?USB接口具有什么样的特性?详细解析触摸屏的常见种类有哪些?都具有什么特点?USB接口是如何被定义的?详细介绍什么是电子镇流器?它的作用是什么?触摸屏是如何进行工作的?它的工作原理是什么?针对电子镇流器的电路原理及应用进行研究分析什么是触摸屏?它的概念定义是什么?如何判断电子镇流器的好坏?它的更换方法关于电子镇流器中的元器件该如何进行选择?电子镇流器在使用时具有哪些优缺点?电子镇流器的基本原理是什么?它是如何进行工作的?电子镇流器与电感镇流器有什么不同?各有何优势?如何实现设计一款电子镇流器?如何实现电子镇流器在荧光灯电路中的应用设计?荧光灯电子镇流器的应用原理及基础知识荧光灯电子镇流器的性能如何?如何进行接线?