MEMS压力传感器在各领域都有着怎样的应用？

传感）研发的ZXP5机油压力传感器，充分发挥MEMS技术在汽车电子控制系统中的领先优势，采用陶瓷材料经过特殊工艺制成。产品具有全温区补偿和校准（-40℃～125℃）、抗腐蚀防玷污、输出曲线可定制、抗过载

的精度都在1%之内，而且车规级产品可在-40℃～125℃温度等严格工况环境下适用，稳定性和可靠性在同类型产品中位居前列。可以说，“稳”就是智芯传感公司产品的最大优势之一!智芯传感的各系列MEMS压力传感器

近年来压力传感器普遍用于各行各业，例如空气压缩机，发动机，管道压力系统等等，那么怎样最大程度上发挥压力传感器的作用呢？很多人不知道，影响压力传感器发挥中的因素中，有一个是振动，而振动可能会对传感器

后端出气管道上安装的压力传感器来控制空气压缩机的压力。本文是阐述了SMI的SM6841压力传感器在空压机传感器领域的应用。　　在安全管理系统中，压力传感用来实现侧气囊控制。空压机安全管理系统也是广泛

解决方案。我们拥有自己在美国硅谷的工厂（位于加州Milpitas城市），我们综合的商业运营模式使我们的产品拥有业界一流的质量及生产控制，为客户提供高水平及灵活性的服务。　　如今MEMS压力传感器广泛用于

压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生

压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生

美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽车传感器领域的美好前景。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散硅压力传感器应对汽车压力系统的压力检测。

，应用领域也在迅速扩大。由于压力传感技术所涉及的技术广泛，几乎渗透到各个专业领域，因此，对压力传感器新理论的探讨、新技术与新方法的应用、新材料和新工艺的研究将成为发展趋势。

等等行业中。在使用高频压力传感器时，我们需要对它进行一定的了解。高频压力传感器的应用领域高频压力传感器针对高频率系统对于压力传感器的特殊要求设计而成，对军事工程、化爆实验、石油勘采与试井、材料、力学

关荣锋(河南理工大学 材料科学与工程学院，河南 焦作454003)1引言MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小

成本更低的设备，这类设备使用]在 MEMS 压力传感器中，压力被施加到柔性薄膜上，使得检测元件发生偏转，诱发失衡，进而转化为输出。基于 MEMS 的传感器可测量绝对和差分压力范围，并且分为补偿和无补

传感器和绝压传感器。这里在简单来说一下三者的区别，它们三者都是依据大气压而言的。表压就是表面压力，普通压力表测量的就是表压，绝压就是物体的表压加上大气压，而差压就是两个压力之前的相对差值。压力传感器

%。目前，我国MEMS压力传感器大约占整个MEMS传感器规模的26%。产品应用领域分析：汽车领域为最大应用市场之一半导体

　　Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”压力传感器。与现有产品相比，该公司的第一款MEMS产品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相当的优势。此外，Apogee公司

。　　3结 论　　近几年来，我国压力传感器技术正在蓬勃发展，应用领域也在迅速扩大。由于压力传感技术所涉及的技术广泛，几乎渗透到各个专业领域，因此，对压力传感器新理论的探讨、新技术与新方法的应用、新材料和新工艺的研究将成为发展趋势。

压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。　　高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体

在高温条件下，也有着很好的工作特性；蓝宝石的抗辐射特性极强；另外，硅－蓝宝石半导体敏感元件，无p－n漂移。5、压电式压力传感器：压电效应是压电传感器的主要工作原理，压电传感器不能用于静态测量，因为经过

，因为此处的传感器必须能够承受病人的咳嗽和呼出的潮湿空气。MEMS压力传感器在多种应用领域得到大量使用MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（压阻型感测）来测量这种形变，也可以

/压力/湿度传感器等广泛的应用；在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统（TPMS）和车辆稳定性控制增强车辆的性能；医疗领域，通过MEMS传感器研成功制出微型胰岛素注射泵，并使心脏搭桥

。　　据敏芯微电子介绍，其MEMS压力传感器芯片典型满量程输出范围为100kPa，在加载电压5V的情况下，满量程灵敏度为100mV，桥臂电阻典型值为5k欧姆，零位输出在+-30mV之间，灵敏度温度系数

`压力传感器很早以前就在医疗行业有所应用，压力传感器在诞生之际就被考虑在医疗行业进行应用，近几年来随着压力传感器性能的进一步提高其在医疗行业的应用也得到很好的发展。 随着压力传感器使用新的技术