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多晶硅材料的制备

2010年07月18日 11:21 www.elecfans.com 作者：本站 用户评论（0）

当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒，则形成单晶硅。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则形成多晶硅。
 
1）碳还原法
在电弧中，利用纯度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右进行还原反应，可生成多晶硅。

2）三氯氢硅氢还原法
3）硅烷热分解法      
4）四氯化硅氢还原法            

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