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微电子机械系统加速传感器瞄准医疗领域的应用

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2022-10-19 11:35:131764

如何正确安装无线振动传感器

MEMS振动传感器简介MEMS加速传感器是运用MEMS芯片(即微型电子机械系统(MicroelectroMechanicalSystems))结合传统的半导体工艺和材料,实现对单轴、双轴甚至
2022-04-13 10:09:151612

MOEMS器件技术与封装

微光电子机械系统(MOEMS)是一种新兴技术,日前已成为热门的技术之一。MOEMS是利用光子系统微电子机械系统(MEMS),内含微机械光调制器、微机械光学开关、IC及其他构件,并利用了MEMS技术的小型化、多重性、微电子性,实现了光器件与电器件的无缝集成。
2023-08-14 11:21:42144

微电子:控股子公司MEMS微振镜启动量产

- mechanical systems)的缩写,即微电子机械系统(简称微机电系统)通过工艺为客户制造的MEMS微振镜完成了少量试生产阶段。
2023-09-14 14:46:29668

常见几种传感器的特点

传感器的特点包括微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化等,它不仅促进了传统产业的改造和更新换代,而且还可能建立新型工业,从而成为21世纪新的经济增长点。微型化是建立在微电子机械系统(MEMS)技术基础上的,已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器
2024-01-18 15:38:40108

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