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Crossing Automation发布增强版Sparta

2010年03月31日 11:18 次阅读

Crossing AutomaTIon发布增强版Spartan EFEM

Crossing AutomaTIon公司 (www.crossinginc.com)近日宣布,已经提高公司的Spartan设备前端模块(EFEM)的性能,将其每小时的加工能力提高至450张晶圆。改进设计的目的是满足高通量半导体制造工艺如剥离/去胶、清洗和离子注入的需要。由于拥有专有的晶圆机常压机器人,改进后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的时间内以最快的速度进行晶圆切换,实现100%的工艺设备利用率。

“使设备生产能力最大化是设备供应商的核心竞争优势,同时也为IC制造商们降低设备的拥有成本,”Crossing AutomaTIon的产品营销副总裁May Su表示,“对于那些拥有每小时加工数百片晶圆的生产能力、但却因现有的常压机器人技术而无法开足产能的设备来说尤其重要。通过升级Spartan已经生产检验的计算晶圆运动路径的软件算法,我们现在能够让所有能通过商业手段购买到的EFEM发挥出最大产能,同时还能维持Spartan现有的可靠性和清洁度性能。”

增强版Spartan EFEM已通过某领先的剥离设备供应商的认证,并表明在现有的EFEM技术的技术基础上将加工能力提高了20%。此次实际生产验证Spartan平台的安装基数超过1000件,上线时间达99%。

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