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该专利提供一种光刻装置,该光刻装置通过不断改变相干光形成的干涉图样,使得照明视场在曝光时间内的累积光强均匀化,从而达到匀光的目的,进而也就解决了相关技术中因相干光形成固定的干涉图样而无法匀光的问题。...
低温共烧陶瓷 ( Low Temperature Co-Fired Ceramics, LTCC ) 封装能将不同种类的芯片等元器件组装集成于同一封装体内以实现系统的某些功能,是实现系统小型化、集成化、多功能化和高可靠性的重要手段。总结了 LTCC 基板所采用的封装方式,阐述了 LTCC 基板的金属...
作为全球最大的芯片代工厂,台积电正在美国亚利桑那州建设一座价值120亿美元的工厂。台积电此前曾透露,亚利桑那州工厂建成后采用5nm制程工艺,预计2024年投产,每月将量产2万片晶圆。...
全光网络是大容量光通信的基础,全光纤掺铒光纤放大器(EDFA)是长距离(陆地和海底)光通信网络重要组成部分。...
束流消除器:两个平行板电极之间的直流偏置(~42 v)是否垂直于电子路径,使电子偏离轴,从而“转动”关闭/阻塞/被下面的孔所覆盖。...
1985年7月,FUJI推出首台带影像处理功能的高速贴片机(CP-I) 1994年,FUJI推出超高速贴片机(CP6) 21世纪以来,自动贴片机迈进“兼备高速与多功能”的时代....
是的!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相。机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上, 如此便可把被摄物体的影像复制到底片上。...
Chiplet 芯片一般采用先进的封装工艺,将小芯片组合代替形成一个大的单片芯片。利用小芯片(具有相对低的面积开销)的低工艺和高良率可以获得有效降低成本开销。...
2019年第四季度,中芯国际就表示14nm已投入量产。2021年时传出消息,中芯国际14nm的良率达到95%,已经追平台积电。(目前7nm也已小规模投产)...
等离子体工艺广泛应用于半导体制造中。比如,IC制造中的所有图形化刻蚀均为等离子体刻蚀或干法刻蚀,等离子体增强式化学气相沉积(PECVD)和高密度等离子体化学气相沉积 (HDP CVD)广泛用于电介质沉积。离子注入使用等离子体源制造晶圆掺杂所需的离子,并提供电子中和晶圆表面上的正电荷。物理气相沉积(P...
据日经新闻报道,这次成立的公司由日本东京电气(Tokyo Electro,全球半导体设备大厂)的前社长东哲郎等人主导, 吸引了日本丰田、索尼、铠侠、NEC、软银、电装等8家公司联合投资,每家出资10亿日元。...
深度亚微米技术的进步,以及增加多种功能以降低成本,结合现有操作规模,意味着SoC的设计变得更加复杂。...
二十多年来,碳化硅(Silicon Carbide,SiC)作为一种宽禁带功率器件,受到人们越来越多的关注。与硅相比,碳化硅具有很多优点,如:碳化硅的禁带宽度更大,这使碳化硅器件拥有更低的漏电流及更高的工作温度,抗辐照能力得到提升;碳化硅材料击穿电场是硅的 10 倍,因此,其器件可设计更高的掺杂浓度...
激光退火系统采用激光光源的能量来快速加热晶圆表面到临界溶化点温度。由于硅的高导热性,硅片表面可以在约1/10 ns范围快速降温冷却。激光退火系统可以在离子注入后以最小的杂质扩散激活掺杂物离子,这种技术已被用于后45nm工艺技术节点。激光退火系统可用于尖峰退火系统,以实现更优的结果。...
纵观整个制造业,芯片的制造流程可以说是最复杂的之一,这项点石成金术可分为八个大步骤,如下图所示,这些步骤又可细分为上百道工序。...