完善资料让更多小伙伴认识你，还能领取20积分哦，立即完善>
标签 > MOCVD
MOCVD是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。
MOCVD是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。系统简介编辑定义MOCVD是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。缩写Metal-organic Chemical Vapor Deposition （金属有机化合物化学气相沉淀）。原理MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压（10-100Torr）下通H2的冷壁石英（不锈钢）反应室中进行，衬底温度为500-1200℃，用射频感应加热石墨基座（衬底基片在石墨基座上方），H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。
MOCVD是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。系统简介编辑定义MOCVD是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。缩写Metal-organic Chemical Vapor Deposition （金属有机化合物化学气相沉淀）。原理MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压（10-100Torr）下通H2的冷壁石英（不锈钢）反应室中进行，衬底温度为500-1200℃，用射频感应加热石墨基座（衬底基片在石墨基座上方），H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。
系统概况编辑组成因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等。不同厂家和研究者所产生或组装的MOCVD设备是不同的。 一般由 源供给系统 、气体输运和流量控制系统、反应室及温度控制系统、尾气处理及安全防护报警系统、自动操作及电控系统。【源供给系统】包括Ⅲ族金属有机化合物、V族氢化物及掺杂源的供给。金属有机化合物装在特制的不锈刚的鼓泡器中，由通入的高纯H2携带输运到反应室。为了保证金属有机化合物有恒定的蒸汽压，源瓶置入电子恒温器中，温度控制精度可达0.2℃以下。氢化物一般是经高纯H2稀释到浓度5%一10%后，装入钢瓶中，使用时再用高纯H2稀释到所需浓度后，输运到反应室。掺杂源有两类，一类是金属有机化合物，另一类是氢化物，其输运方法分别与金属有机化合物源和氢化物源的输运相同。【气体输运系统】气体的输运管都是不锈钢管道。为了防止存储效应，管内进行了电解抛光。管道的接头用氢弧焊或VCR及Swagelok方式连接，并进行正压检漏及Snoop液体或He泄漏检测，保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一。流量是由不同量程、响应时间快、精度高的质量流量计和电磁阀、气动阀等来实现。在真空系统与反应室之间设有过滤器，以防油污或其它颗粒倒吸到反应室中。为了迅速变化反应室内的反应气体，而且不引起反应室内压力的变化，设置“run”和“vent，，管道。【反应室和加热系统】反应室是由石英管和石墨基座组成。为了生长组分均匀、超薄层、异质结构的化合物半导体材料，各生产厂家和研究者在反应室结构的设计上下了很大功夫，设计出了不同结构的反应室。石墨基座是由高纯石墨制成，并包裹SIC层。加热多采用高频感应加热，少数是辐射加热。由热电偶和温度控制器来控制温度，一般温度控制精度可达到0.2℃或更低。【尾气处理系统】反应气体经反应室后大部分热分解，但还有部分尚未完全分解，因此尾气不能直接排放到大气中，必须先进行处理，处理方法主要有高温热解炉再一次热分解，再用硅油或高锰酸钾溶液处理;也可以把尾气直接通入装有H2SO4+H2O及装有NaOH溶液的吸滤瓶处理;也有的把尾气通入固体吸附剂中吸附处理，以及用水淋洗尾气等。【安全保护及报警系统】为了安全，一般的MOCVD系统还备有高纯从旁路系统，在断电或其它原因引起的不能正常工作时，通入纯N2保护生长的片子或系统内的清洁。在停止生长期间也有常通高纯N2保护系统。【手动和自动控制系统】一般MOCVD设备都具有手动和微机自动控制操作两种功能。在控制系统面板上设有阀门开关、各个管路气体流量、温度的设定及数字显示，如有问题会自动报警，是操作者能及时了解设备运转的情况。此外，MOCVD设备一般都设在具有强排风的工作室内。优点1 适用范围广泛，几乎可以生长所有化合物及合金半导体;2 非常适合于生长各种异质结构材料;3 可以生长超薄外延层，并能获得很陡的界面过渡;4 生长易于控制;5 可以生长纯度很高的材料;6 外延层大面积均匀性良好;7 可以进行大规模生产。
国内外发展编辑中国MOCVD系统发展2012年12月12号，中国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备发运庆典在张江高新区核心园举行。作为LED芯片生产过程中最为关键的设备，MOCVD的核心技术长期被欧美企业所垄断，严重制约了中国LED产业的健康发展。中晟光电设备上海有限公司于2012年1月18日成功实现了拥有自主创新知识产权的具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备下线，仅用了10个月时间，又完成了工艺的开发和设备进一步的改进优化，完成了设备产业化生产必备条件与设施的建立；在此基础上又完成了4家客户的多次实地考察，亲临操作设备和验证各项工艺。客户充分肯定了中晟设备的技术方向和设计上的世界先进性，也对设备用于大规模生产提出了进一步改进的建设性要求。使该设备同时具有目前世界上最高的系统产能、最低的外延生产成本、良好的波长均匀性、大规模外延生产所需的各项关键性能等4项核心的差异竞争力。这次我国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备成功发运，不仅标志着在实现中国大型MOCVD设备国产化战略目标的征途上，中晟迈开了具有里程碑意义的一步，而且充分体现了中国有能力在高端装备领域实现跨越式的发展。国外MOCVD系统发展随着化合物半导体器件（如 GaAs MMIC、 InP MMIC以及GaN蓝光LED）市场的不断扩大，MOCVD系统的需求量不断增长。国际上实力最为雄厚的MOCVD系统制造商有：德国Aixtron公司、美国的Emcore公司（其MOCVD已被Veeco兼并）、英国的Thomass~（1999年被Aixtron兼并）等。因为MOCVD系统最关键的问题就是保证材料生长的均匀性和重复性，因此不同厂家的MOCVD系统最主要的区别在于反应室结构。Aixtron采用行星反应（Planetary Reactor），Emcore采用TurboDisc反应室（该业务己出售给Veeco公司）、Thomas Swan（该公司于2003年2月份被Aixtron兼并）采用 Closed Coupled Showerhead（CCS）反应室。国内拥有的进口MOCVD系统700台左右，其中 Aixtron MOCVD系统和Emcore MOCVD系统占绝大多数，有少量的 Thomas Swan MOCVD系统、法国ASM MOCVD系统和日本RIPPON SANSO MOCVD系统，主要用于GaN LD/LED的研究和制造。
同为第三代半导体材料，氮化镓时常被人用来与碳化硅作比较，虽然没有碳化硅发展的时间久，但氮化镓依旧凭借着禁带宽度大、击穿电压高、热导率大、饱和电子漂移速度...
固态升华法（Sublimation） 固态前驱体在加热容器中被加热至其升华点，从固态直接转化为气态。升华后的前驱体以气态形式通过载气输送到反应室即可...
一种能够在日光下工作而不受可见光干扰的紫外光探测器。日盲紫外探测器对可见光具有很低的响应，在环境监测、太阳辐射测量、航天科学、太阳能电池优化和军事应用等...
第三代半导体设备 第三代半导体设备主要为SiC、GaN材料生长、外延所需的特种设备，如SiC PVT单晶生长炉、CVD外延设备以及GaN HVPE单...
通常是指的在蓝宝石衬底上用外延的方法（MOCVD）生长的GaN。外延片上面一般都已经做有u-GaN，n-GaN，量子阱，p-GaN。
氮化镓（GaN）是氮和镓化合物，具体半导体特性，早期应用于发光二极管中，其具有宽带隙、高热导率等特点，宽禁带半导体是高温、高频、抗辐射及大功率器件的适合...
什么是Micro-LED？Micro-LED的显示原理是什么？
Micro LED的英文全名是Micro Light Emitting Diode，中文称作微发光二极体，也可以写作μLED
澳大利亚的BluGlass公司声称使用他们的低温远程等离子体化学气相沉积（RPCVD）技术可以产生理想纯度的氮化镓（GaN）。该公司说，他们的RPCVD...
天龙光电首台MOCVD设备的交货进展一直备受业内关注。公司将在这个月底发货给客户，并将于下个月在用户端开始设备安装、调试。
随着LED照明市场的起飞，加上中国政府大力推行节能补助，带动陆厂大举扩增LED上游晶粒产能，自2011年起陆厂约新增420台MOCVD机台，总机数达72...
中国上海，2024年2月4日—— 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“本公司”）注意到，2024年1月31日（美国时间，下同）美国国防部根据《...
半导体资料丨氧化锌、晶体硅/钙钛矿、表面化学蚀刻的 MOCVD GaN
蚀刻时间和过氧化氢浓度对ZnO玻璃基板的影响 本研究的目的是确定蚀刻ZnO薄膜的最佳技术。使用射频溅射设备在玻璃基板上沉积ZnO。为了蚀刻ZnO薄膜，使...
近年，IQE开始涉足Micro LED领域，IQE拥有丰富的MOCVD外延生长技术储备及规模化生产的能力，可满足制备微米级高亮Micro LED的需求。
近日，山东华光光电子股份有限公司发布2款新产品，经山东电子学会组织专家进行鉴定，被评价为国际领先和国内领先水平，进一步完善了公司的产品种类布局，拓展了新...
上海2022年10月25日 /美通社/ -- 10月25日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称"中微公司"，上交所股票代码...
第四届第三代半导体材料及装备发展研讨会在青岛成功举办。中微公司参加了此次研讨会，并受邀发表主题演讲，与产业链上下游、设备及关键零部件研究、生产单位专家代...
在LED显示屏领域，企业想要获得盈利就要保持20%以上的毛利润。行业利润走低，降低LED的使用成本成为了企业获利的重要方式。 LED器件的制造成本相对硅...
中微公司2022年第一季度收入9.49亿元同比增长57.31%
中微公司2022年 第一季度财务报告 AMEC 2022 Q1 Report 中微公司于4月28日发布2022年第一季度财务报告，摘要如下：...
在近日发布的长光华芯招股说明书中，我们可以发现华为哈勃投资入股了长光华芯，持有其4.98%股份。华为布局激光雷达产业链的目的不言而喻，也使得长光华芯有望...
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，股票代码：688012）今日宣布推出专为高性能Mini LED量产而设计的Prismo Uni...
换一批
编辑推荐厂商产品技术软件/工具OS/语言教程专题
| 电机控制 | DSP | 氮化镓 | 功率放大器 | ChatGPT | 自动驾驶 | TI | 瑞萨电子 |
| BLDC | PLC | 碳化硅 | 二极管 | OpenAI | 元宇宙 | 安森美 | ADI |
| 无刷电机 | FOC | IGBT | 逆变器 | 文心一言 | 5G | 英飞凌 | 罗姆 |
| 直流电机 | PID | MOSFET | 传感器 | 人工智能 | 物联网 | NXP | 赛灵思 |
| 步进电机 | SPWM | 充电桩 | IPM | 机器视觉 | 无人机 | 三菱电机 | ST |
| 伺服电机 | SVPWM | 光伏发电 | UPS | AR | 智能电网 | 国民技术 | Microchip |
| 开关电源 | 步进电机 | 无线充电 | LabVIEW | EMC | PLC | OLED | 单片机 |
| 5G | m2m | DSP | MCU | ASIC | CPU | ROM | DRAM |
| NB-IoT | LoRa | Zigbee | NFC | 蓝牙 | RFID | Wi-Fi | SIGFOX |
| Type-C | USB | 以太网 | 仿真器 | RISC | RAM | 寄存器 | GPU |
| 语音识别 | 万用表 | CPLD | 耦合 | 电路仿真 | 电容滤波 | 保护电路 | 看门狗 |
| CAN | CSI | DSI | DVI | Ethernet | HDMI | I2C | RS-485 |
| SDI | nas | DMA | HomeKit | 阈值电压 | UART | 机器学习 | TensorFlow |
| Arduino | BeagleBone | 树莓派 | STM32 | MSP430 | EFM32 | ARM mbed | EDA |
| 示波器 | LPC | imx8 | PSoC | Altium Designer | Allegro | Mentor | Pads |
| OrCAD | Cadence | AutoCAD | 华秋DFM | Keil | MATLAB | MPLAB | Quartus |
| C++ | Java | Python | JavaScript | node.js | RISC-V | verilog | Tensorflow |
| Android | iOS | linux | RTOS | FreeRTOS | LiteOS | RT-THread | uCOS |
| DuerOS | Brillo | Windows11 | HarmonyOS |
关注我们的微信
下载发烧友APP
电子发烧友观察
版权所有 © 湖南华秋数字科技有限公司
电子发烧友 （电路图） 湘公网安备43011202000918 电信与信息服务业务经营许可证：合字B2-20210191
工商网监
湘ICP备 2023018690 号
