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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。
常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。
我在上一篇关于MEMS压力传感器的博客中,谈到了从手表到复杂机械等众多设备中的HMI传感器如何改变了我们获取信息以及与技术交互的方式。过去,许多设备上只...
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基于ST 红外传感器STHS34PF80 搭配菲涅尔透镜针对投影机应用方案
STHS34PF80 是一款红外线感测器,可用于侦测静止和移动物体的存及超温条件。它采用独特的 TMOS 技术测量物体的红外线辐射,当物体位于视野内时检...
如何设计用于牲畜监测、车队管理和工业 4.0 物流的多重连接跟踪系统
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赛微电子是全球领先、国际化运营的高端集成电路芯片晶圆制造厂商,也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业芯片晶圆制造商。
营收超200亿,传感器业绩下滑18%!中国第二大MEMS龙头企业2023业绩公布
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芯碁微装推出WA 8晶圆对准机与WB 8晶圆键合机助力半导体加工
近日,芯碁微装又推出WA 8晶圆对准机与WB 8晶圆键合机,此两款设备均为半导体加工过程中的关键设备。
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华芯邦科技助力深圳市前海孔科微电子有限公司的电子烟PCBA方案,推出了全球首颗HRP封装技术的三合一(3 IN 1)MEMS集成气流传感器。这项技术将A...
Phlux推出一种新型传感器以进军汽车激光雷达(LiDAR)市场
英国初创公司Phlux Technology(以下简称“Phlux”)正致力于通过一种新型传感器进军汽车激光雷达(LiDAR)市场,并筹集项目资金。Ph...
泽丰半导体科技亮相SEMICON China 2024和慕尼黑上海光博会
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型号 | 描述 | 数据手册 | 参考价格 |
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MSM321A3729H9BP | 模拟输出MEMS麦克风 MIC_3.76X2.95MM_SM |
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MSM261DHP006 | MEMS硅麦 1.6~3.6V ±1dB |
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