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MEMS器件

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国内和国际MEMS晶圆级测试技术对比分析

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晶圆级测试技术应用于MEMS产品开发全周期的3个阶段：（1）产品研发（R&D）阶段：用以验证器件工作和生产的可行性，获得早期器件特征。（2）产品试量产阶...

2019-01-01 标签：mems 晶圆 MEMS器件 7772 0

主流的MEMS器件原理解析

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近几年，智能手机中的压力传感器也逐渐成为标配，主要用来测量大气压力。测量大气压的目的，是为了通过不同高度的气压，来计算海拔高度，同GPS定位信号配合，实...

2021-01-21 标签：mems MEMS器件 MEMS压力传感器 7626 0

石墨烯助力传统MEMS器件性能大幅提升

据麦姆斯咨询报道，NanoGraM项目重点研究三类器件：石墨烯麦克风、石墨烯膜压力传感器和石墨烯膜霍尔传感器。

2018-09-23 标签：石墨烯 MEMS器件 4931 0

用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件(上)

本视频为 ADI亚太区应用和客户支持经理 Camille Huin 带来的《用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件》。

2018-05-24 标签：传感器 adi 医疗保健 4826 0

先进封装之TSV及TGV技术初探（二）

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另外一个将TGV填实的方案是将金属导电胶进行TGV填实。利用金属导电胶的优点是固化后导电通孔的热膨胀系数可以调节，使其接近基材，避免了因CTE不匹配造成的失效。

2023-05-25 标签：BGA CMP MEMS器件 3364 0

硅的电阻率和方阻测定和使用问题解析

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在MEMS器件设计过程中电学性能是重中之重。MEMS大多数由衬底、介质层和金属层组成，硅衬底、多晶硅和金属均与电学性能密不可分。

2024-01-13 标签：多晶硅硅晶圆 MEMS器件 1805 0

基于MEMS硅微加速度传感器的设计方案

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硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且该种传...

2014-07-07 标签：MEMS器件 1611 0

引领移动MEMS市场发展意法半导体MEMS器件解决方案

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意法半导体的传感器产品包括MEMS（微机电传感器，包括加速度计、陀螺仪、数字罗盘、惯性模块、压力传感器和麦克风）、温度传感器和触摸传感器。

2013-02-20 标签：MEMS 意法半导体 MEMS器件 1321 0

Sensera提供的MEMS器件为替代传统的生物试验提供了可能

据麦姆斯咨询报道，MEMS器件领先供应商Sensera将其MEMS技术应用到了生物工程领域的新应用。该公司的MEMS技术被Harvard Univers...

2019-01-23 标签：mems器件 1012 0

利用EHD喷印技术在MEMS器件上实现性能优异的无掩膜沉积WO3胶体量子点

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随着新一代物联网技术的发展，气体传感器逐渐向小型化、低功耗以及芯片化发展。而传统采用金属氧化物构建的半导体气体传感器存在制备和工作温度高，与硅基工艺不兼...

2023-11-03 标签：物联网 MEMS器件量子点 967 0

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MEMS器件可以满足物联网应用的哪些需求？

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mems器件资料下载

通信领域中的MEMS器件及发展动态立即下载

类别：无线通信 2009-11-16 标签：MEMS器件 641 0

mems器件资讯

MEMS器件的四大分类介绍

MEMS器件以硅为主要材料。硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。密度类似于铝，热传导率接近铜和钨，因此MEMS器件机械电气性能优良。它集中了当今科学技术发...

2019-02-12 标签：mems器件 1.3万 0

阳极键合技术广泛应用于MEMS器件的制备过程中

1969年，美国的Wallis和Pomerantz两位研究人员首次提出了阳极键合技术，其键合方法如图1所示。阳极键合目前在硅片与玻璃键合中得到了较为广泛...

2020-06-17 标签：压力传感器微机电系统 MEMS器件 1.1万 0

PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室落户苏州

该压电MEMS实验室将有利于壮大苏州MEMS产业实力，也有利于加快中国MEMS企业创新步伐。

2019-06-10 标签：芯片 MEMS器件爱发科 5234 0

MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片

公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备，是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。

2020-06-25 标签：传感器 MEMS器件滤波器芯片 4692 0

MEMS器件类型和MEMS应用

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微机电系统（MEMS）技术使用半导体制造工艺来生产尺寸范围从小于一微米到几毫米的小型化机械和机电元件。MEMS设备可以从没有运动元件的相对简单的结构到具...

2020-07-22 标签：mems MEMS器件 4656 0

IMT宣布提供8英寸晶圆MEMS加工服务

IMT日前正式宣布：公司现已可提供8英寸（200mm）晶圆微电子机械系统（MEMS）工艺加工服务，同时公司还可以为MEMS行业发展提供空前丰富的其他资源...

2019-06-13 标签：半导体 MEMS器件 8英寸晶圆 3198 0

具有悬浮结构的MEMS器件表面微加工方法

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近年来，微机电（MEMS）开关因其高线性度、低插损、低能耗、高开关比以及可集成性等优异性能获得了广泛关注。MEMS开关可以被应用于自动化测试设备、宽带仪...

2020-08-11 标签：mems MEMS器件 2891 0

利用激光测振技术提升MEMS器件仿真精度

设计和开发MEMS器件涉及大量的数学仿真。在制造过程中进行实验验证，不仅成本昂贵且非常耗时。为了精准地预测系统响应，需要验证仿真模型。但是，当需要用模型...

2019-11-30 标签：MEMS器件光刻技术激光成像 2770 0

行业迎来MEMS器件热细数ADI近年MEMS新品发布

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近年来，随着消费电子领域的快速发展，MEMS器件正式进入了人们的视线。面对当前的MEMS器件热，电子发烧友网在这里先为大家整理了ADI近年来发布的MEM...

2012-12-12 标签：ADI MEMS MEMS器件 2408 0

MEMS器件发展势不可挡:未来MEMS市场将持续增长

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随着便携消费电子的走热，MEMS器件得到了爆发式的增长。短短两年时间MEMS器件成为消费电子领域炙手可热的器件，近几年都会保持高速增长趋势。现在让我们一...

2013-01-23 标签：MEMS器件 MEMS麦克风 MEMS磁力计 2352 0

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