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金属刻蚀具有良好的轮廓控制、残余物控制,防止金属腐蚀很重要。金属刻蚀时铝中如果 有少量铜就会引起残余物问题,因为Cu Cl2的挥发性极低且会停留在晶圆表面。
苹果A6处理器是苹果公司于2012年9月12日发布的最新移动处理器。苹果下一代移动产品将会全部采用A6处理器,其中iPhone5已经率先采用了最新的A6...
在移动通信芯片领域,高通是第一家量产了28nm制程的移动芯片厂商,2013年是28nm制程的普及年,除了联芯和展讯还在使用40nm制程外,其余各家移动通...
为了让大家一窥 Intel在半导体制造工艺上的牛逼,笔者选取数月前参加Intel新品交流会后,印象深刻的45nm以下HKMG的成型工艺来做探讨。
格罗方德可望以28纳米制程在中国大陆芯片市场打下一片天。对此,格罗方德透过先期研发合作及保证产能供应等策略,积极拉拢中国大陆芯片商,并已成功抢下瑞芯微等客户。
专访格罗方德Subramani Kengeri:28nm量产致胜关键在于HKMG
本文主要讲述了28nm量产致胜关键在于HKMG。HKMG:high-k绝缘层+金属栅极。HKMG的优势:不管使用Gate-first和Gate-last...
HKMG实现工艺的两大流派及其详解 随着晶体管尺寸的不断缩小,HKMG(high-k绝缘层+金属栅极)技术几乎已经成为45nm以下级别制程的必备技
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