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标签　>　刻蚀工艺

刻蚀工艺

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2023-12-06 标签：半导体制造技术刻蚀工艺 2238 0

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溅射是一种在晶圆表面形成金属薄膜的物理气相沉积(PVD)6工艺。如果晶圆上形成的金属薄膜低于倒片封装中的凸点，则被称为凸点下金属层(UBM，Under ...

2023-10-20 标签：半导体晶圆封装工艺 3461 0

芯片制造的刻蚀工艺科普

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在半导体制程工艺中，有很多不同名称的用于移除多余材料的工艺，如“清洗”、“刻蚀”等。如果说“清洗”工艺是把整张晶圆上多余的不纯物去除掉，“刻蚀”工艺则是...

2023-09-24 标签：半导体晶圆制程工艺 1117 0

碳化硅功率半导体工艺流程

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2023-09-06 标签：功率半导体光刻胶碳化硅 774 0

刻蚀工艺主要分为哪几种类型刻蚀的目的是什么？

PVP可以在刻蚀过程中形成一层保护性的膜，降低刻蚀剂对所需刻蚀材料的腐蚀作用。它可以填充材料表面的裂缝、孔洞和微小空隙，并防止刻蚀剂侵入。这样可以减少不...

2023-08-17 标签：芯片封装半导体器件刻蚀 3475 0

半导体前端工艺之刻蚀工艺

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2023-07-02 标签：半导体制造工艺刻蚀工艺 1337 0

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2023-06-28 标签：半导体等离子体晶圆 921 0

半导体八大工艺之刻蚀工艺：干法刻蚀

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在干法蚀刻中，气体受高频（主要为 13.56 MHz 或 2.45 GHz）激发。在 1 到 100 Pa 的压力下，其平均自由程为几毫米到几厘米。

2023-06-20 标签：半导体晶圆蚀刻 4494 0

3D NAND刻蚀工艺的挑战及特点

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2023-06-12 标签：集成电路 NAND 3D 599 0

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类别：IC datasheet pdf 2022-06-13 标签：IC制造刻蚀工艺 1068 0

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类别：IC中文资料 2015-07-14 标签：光刻刻蚀工艺 1001 0

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中国研发团队在SOT-MRAM取得重要进展

据“中科院微电子研究所”消息，为了更好地解决SOT-MRAM的刻蚀技术难题以实现SOT-MTJ的高密度片上集成，同时研究不同的刻蚀工艺对器件磁电特性的影...

2023-03-10 标签：集成电路半导体刻蚀工艺 586 0

一种简单的原沸石晶种合成单晶分级ZSM-5沸石

原沸石是非结晶的，如粉末 X 射线衍射 (XRD) 图案所示。扫描电子显微镜 (SEM) 和透射电子显微镜 (TEM) 图像显示，原沸石是大小约为5-2...

2022-08-17 标签：单晶催化剂刻蚀工艺 2248 0

泛林集团推开创性的选择性刻蚀解决方案加速实现3D

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通过与客户、技术专家和产品团队的合作，他们已经在选择性刻蚀创新方面实现突破，这将使世界领先的芯片制造商得以提供下一代3D逻辑和存储设备。

2022-03-22 标签：刻蚀刻蚀工艺泛林集团 1853 0

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