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在微运动系统中，驱动器是实施微运动的关键部件，为了实现高精度的微运动，必须具备高运动精度和高定位精度的驱动器，因此，驱动器技术是微运动系统的核心技术。目前已经涌现出很多种微运动系统，概括国内外微运动系统驱动器技术，从驱动原理和方式上看，主要驱动形式有压电驱动、形状记忆合金驱动和电磁驱动等类型．与其它微驱动器相比较，电磁驱动技术由于采用运动体和驱动机构分离的驱动方式，运动体与驱动机构非接触、无摩擦损耗，所以易于在单一驱动结构中实现多自由度、大范围高精度的微运动，并且具有良好的动态响应特性．总结国内外的电磁驱动器，主要可分为两类：一类是悬浮力和驱动力由同一部件提供，这种结构需要利用复杂的控制算法进行解耦，不仅编程相当复杂，给控制芯片带来巨大的运算量，降低了芯片的控制效果，而且解耦效果不太理想．另一类是利用电磁铁的吸力实现悬浮的方法，其悬浮力与驱动力由独立的部件控制，但是其结构上不稳定，控制量的波动较大．鉴于此，本文设计了一种基于磁场同步跟随的电磁悬浮式微驱动器，解决了悬浮单元与驱动单元之间的耦合和运动稳定性较低的问题，并对其进行了运动状态下的力学分析和系统测试。
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